Бесплатная библиотека - 1 338 003 изданий в библиотеке

Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок.

Книга Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок.

Название: Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок
Автор: Берлин Е.В., Двинин С.А., Сейдман Л.А.
Серия или выпуск: Мир материалов и технологий
Издательство: Техносфера
ISBN: 978-5-94836-134-5
Год издания: 2007
Страниц: 176
Язык: Русский
Формат: DjVu
Качество: хорошее
Размер: 1,5 Мб
Описание:
В книге обобщено современное состояние одной из отраслей производства изделий электронной техники: вакуумной технологии нанесения и травления тонких пленок. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок, плазмохимических установок для травления тонких пленок и технологических особенностей их использования. Описаны математические модели, способы управления и примеры использования реактивного магнетронного напыления, принципы построения и применения среднечастотных источников питания для реактивного магнетронного напыления. Приведены теоретические основы и физические принципы конструирования нового типа источника высокочастотного разряда низкого давления для ионного или плазмохимического травления тонких пленок и/или их стимулированного плазмой осаждения.
Книга рассчитана на специалистов научно-исследовательских лабораторий, конструкторских бюро и производственных подразделений предприятий, занимающихся разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и оборудования для их производства.

Рейтинг: 4.8 баллов / 2537 оценок
Формат: Книга
Уже скачали: 12787 раз

Похожие Книги

Нам показалось, что Книги ниже Вас заинтересуют не меньше. Эти издания Вы так же можете скачивать и читать совершенно бесплатно на сайте!

Вы не зарегистрированы!

Если вы хотите скачивать книги, журналы и аудиокниги бесплатно, без рекламы и без смс, оставлять комментарии и отзывы, учавствовать в различных интересных мероприятиях, получать скидки в книжных магазинах и многое другое, то Вам необходимо зарегистрироваться в нашей Электронной Библиотеке.

Войти Регистрация

Отзывы читателей

Ой!

К сожалению, в нашей Бесплатной Библиотеке пока нет отзывов о Книге Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок.. Помогите нам и другим читателям окунуться в сюжет Книги и узнать Ваше мнение. Оставьте свой отзыв или обзор сейчас, это займет у Вас всего-лишь несколько минут.