Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок.
Название: Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок
Автор: Берлин Е.В., Двинин С.А., Сейдман Л.А.
Серия или выпуск: Мир материалов и технологий
Издательство: Техносфера
ISBN: 978-5-94836-134-5
Год издания: 2007
Страниц: 176
Язык: Русский
Формат: DjVu
Качество: хорошее
Размер: 1,5 Мб
Описание:
В книге обобщено современное состояние одной из отраслей производства изделий электронной техники: вакуумной технологии нанесения и травления тонких пленок. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок, плазмохимических установок для травления тонких пленок и технологических особенностей их использования. Описаны математические модели, способы управления и примеры использования реактивного магнетронного напыления, принципы построения и применения среднечастотных источников питания для реактивного магнетронного напыления. Приведены теоретические основы и физические принципы конструирования нового типа источника высокочастотного разряда низкого давления для ионного или плазмохимического травления тонких пленок и/или их стимулированного плазмой осаждения.
Книга рассчитана на специалистов научно-исследовательских лабораторий, конструкторских бюро и производственных подразделений предприятий, занимающихся разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и оборудования для их производства.
| Рейтинг: | 4.8 баллов / 2537 оценок |
| Формат: | Книга |
| Уже скачали: | 12780 раз |
Похожие Книги
Нам показалось, что Книги ниже Вас заинтересуют не меньше. Эти издания Вы так же можете скачивать и читать совершенно бесплатно на сайте!
-
Всемирная история (с 1914 г. по настоящее время), методическое руководство, пособие для учителей 9 класс, общеобразовательная школа, Нугманова Н. С, Кулипбаева К. Т., 2013
Всемирная история (с 1914 г. по настоящее время), методическое руководство, пособие для учителей 9 класс, общеобразовательная школа, Нугманова Н. С, Кулипбаева К. Т., 2013. Раздел I. СТРАНЫ ЕВРОПЫ И А . . .
-
История России, 9 класс, Поурочные планы к учебникам Данилова А.А., Косулиной Л.Г., 2010
История России, 9 класс, Поурочные планы к учебникам Данилова А.А., Косулиной Л.Г., 2010. Подробные поурочные планы содержат весь необходимый материал для проведения по . . .
-
История России, Учебник для учителя, Сулакшин С.С., 2012
История России, Учебник для учителя, Сулакшин С.С., 2012. "Мы убеждены, что необходимо формирование нового поколения учебников, восстанавливающих, с одной стороны, процессное понимание истории, и, с д . . .
-
Поурочные разработки по истории России (XX - начало XXI века),9 класс, Арасланова О.В., Поздеев А.В., 2010
Поурочные разработки по истории России (XX - начало XXI века),9 класс, Арасланова О.В., Поздеев А.В., 2010. Подробные поурочные планы содержат весь необходимый материал для проведения полноценных урок . . .
-
Методические рекомендации к изучению истории, 10 класс, Захарова Е.Н., 2001
Методические рекомендации к изучению истории, 10 класс, Захарова Е.Н., 2001. Преподавание истории в 10 классе нередко вызывает определенные трудности. Известный методист Е.Н. Захарова предлагае . . .
-
Презентация по истории - Эпоха дворцовых переворотов
Презентация по истории - Эпоха дворцовых переворотов Содержание: Суть исторического периода Петр I и проблема престолонаследия Екатерина I Петр II Анна Иоанновна Иван VI Антонович Ел . . .
-
Презентация по Истории - Елизавета Петровна
Презентация по Истории - Елизавета Петровна В Презентации Детство и юность Переворот и начало царствования Экономические преобразования Елизаветинские фавориты Российская наука Самое пышное барокк . . .
-
Spin-Off Spring Spin the Perfect Sock Yarn- №1 2006
Издательство: Interweave Press LLC Название: Spin-Off Spring Spin the Perfect Sock Yarn Год / месяц: 2006 ISSN : 01988239 Номер: №1 Страниц: 124 Язык: английский Формат: JPG Размер: 59.70Mb . . .
-
Презентация по истории - Екатерина II Великая
Презентация по истории - Екатерина II Великая В 33 года Екатерина II заняла российский престол 33 года – возраст Христа. Что это означает? Скачать Презентация по истории - Екатерина II Великая . . .
-
Теория и методика преподавания истории, Вяземский Е.Е., Стрелова О.Ю., 2003
Теория и методика преподавания истории, Вяземский Е.Е., Стрелова О.Ю., 2003. В учебнике представлен отечественный и мировой опыт преподавания и изучения истории в школе. Особо . . .
Вы не зарегистрированы!
Если вы хотите скачивать книги, журналы и аудиокниги бесплатно, без рекламы и без смс, оставлять комментарии и отзывы, учавствовать в различных интересных мероприятиях, получать скидки в книжных магазинах и многое другое, то Вам необходимо зарегистрироваться в нашей Электронной Библиотеке.
Отзывы читателей
Ой!
К сожалению, в нашей Бесплатной Библиотеке пока нет отзывов о Книге Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок.. Помогите нам и другим читателям окунуться в сюжет Книги и узнать Ваше мнение. Оставьте свой отзыв или обзор сейчас, это займет у Вас всего-лишь несколько минут.