Бесплатная библиотека - 1 338 003 изданий в библиотеке

Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок

Книга Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок

Автор: Берлин Е.В., Двинин С.А., Сейдман Л.А.
Название: Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок
Издательство: Техносфера
Год: 2007
Формат: DjVu
Размер: 1,5 Мб
В книге обобщено современное состояние одной из отраслей производства изделий электронной техники: вакуумной технологии нанесения и травления тонких пленок. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок, плазмохимических установок для травления тонких пленок и технологических особенностей их использования. Описаны математические модели, способы управления и примеры использования реактивного магнетронного напыления, принципы построения и применения среднечастотных источников питания для реактивного магнетронного напыления. Приведены теоретические основы и физические принципы конструирования нового типа источника высокочастотного разряда низкого давления для ионного или плазмохимического травления тонких пленок и/или их стимулированного плазмой осаждения.
Книга рассчитана на специалистов научно-исследовательских лабораторий, конструкторских бюро и производственных подразделений предприятий, занимающихся разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и оборудования для их производства.
Оглавление:
Часть 1. Напыление тонких пленок
Глава 1. Технологические особенности нанесения резистивных слоев
Глава 2. Технологические особенности нанесения металлизации ГИС
Глава 3. Устройство магнетронного источника распыления
Глава 4. Способы получения равномерного нанесения пленки из протяженного магнетронного источника
Глава 5. Процесс реактивного магнетронного распыления со среднечастотным источником питания магнетрона
Глава 6. Магнетронные напылительные установки предприятия . ООО «Эсто-Вакуум»
Глава 7. Технологические особенности нанесения различных слоев на магнетронной установке
Глава 8. Предотвращение появления следов электрических разрядов на металлической пленке, нанесенной с помощью магнетрона
Глава 9. Способы управления процессом реактивного магнетронного распыления с помощью вольтамперных характеристик разряда
Глава 10. Моделирование процесса реактивного нанесения
Глава 11. Получение чередующихся слоев различных диэлектриков на основе кремния в одном процессе на магнетронной установке
Часть 2. Плазмохимические процессы
Глава 12. Физические процессы и модели высокочастотного разряда низкого давления
Глава 13. Различные способы возбуждения ВЧ поля в плазме
Глава 14. Импеданс емкостного ВЧ-разряда низкого давления
Глава 15. Свойства слоя пространственного заряда
Глава 16. Возбуждение ВЧ поля в TCP-разряде
Глава 17. Распределение плотности электронов в плазме
Глава 18. Ранее выпускавшаяся установка для реактивного ионно-плазменного травления «Каролина РЕ-4» (ЭРА-ЗМ, ЭРА-4)
Глава 19. Шлюзовая установка плазмохимического травления «Каролина РЕ-11»
Глава 20. Шлюзовая установка плазмохимического травления «Каролина 15»
Глава 21. Плазменно-стимулированное осаждение слоев из газовой фазы (PCVD) с применением генератора высокоплотной плазмы типа трансформаторно-связанной плазмы (TCP)
Скачать с Depositfiles
Скачать с LetitBit

Рейтинг: 4.8 баллов / 2537 оценок
Формат: Книга
Уже скачали: 12759 раз

Похожие Книги

Нам показалось, что Книги ниже Вас заинтересуют не меньше. Эти издания Вы так же можете скачивать и читать совершенно бесплатно на сайте!

  • Книга Орбенина Наталья - Супруг для богини

    Орбенина Наталья - Супруг для богини

    feed_id: 5201 pattern_id: 20 Знаменитый писатель Вениамин Извеков найден мертвым в собственном доме. Похоже, он умер от разрыва сердца, увидев призрак покойной жены - знаменитой актрисы, красавицы Та . . .

  • Книга Умершие доктора не лгут.

    Умершие доктора не лгут.

    Название: Умершие доктора не лгут Автор: Д.Уоллок Год издания: 1998 Страниц: 21 Язык: Русский Формат: DJVU | RTF | PDF Размер: 1,6 МбОписание: Лекция доктора Уоллока из США о пользе и значении витами . . .

  • Книга Игры, в которые играет Я.

    Игры, в которые играет Я.

    Название: Игры, в которые играет Я Автор: Игорь Калинаускас Издательство: Невский проспект ISBN: 5-94371-440-5 Год издания: 2003 Страниц: 288 Язык: Русский Формат: pdf Размер: 1,12 МбОписание: Кто Я . . .

  • Журнал Rico Dising №70.

    Rico Dising №70.

    Название: Rico Dising №70 Автор: коллектив Серия или выпуск: 70 Страниц: 28 Язык: Английский Формат: Jpg Качество: хорошее Размер: 5,68 Мб Описание: Прекрасные журналы для начинающих вышивальщиц, про . . .

  • Журнал Набор для вышивки крестом "Mic & Mac. Pousse-Cafe".

    Набор для вышивки крестом "Mic & Mac. Pousse-Cafe".

    Название: Набор для вышивки крестом "Mic & Mac. Pousse-Cafe" Автор: Nimue Страниц: 2 Язык: Французский Формат: Jpg Качество: отличное Размер: 1,52 Мб Описание: Сказочные персонажи от фирмы "Nimuё". В . . .

  • Журнал Набор для вышивки крестом "Mac 7 Tricote".

    Набор для вышивки крестом "Mac 7 Tricote".

    Название: Набор для вышивки крестом "Mac 7 Tricote" Автор: Nimue Страниц: 2 Язык: Французский Формат: Jpg Качество: отличное Размер: 0,651 Мб Описание: Сказочные персонажи от фирмы "Nimuё". В наборе: . . .

  • Журнал 220 splotow szydelkowych.

    220 splotow szydelkowych.

    Название: 220 splotow szydelkowych Автор: коллектив Страниц: 90 Язык: Польский Формат: JPG Качество: хорошее Размер: 8.21 Мб Описание: Новый выпуск по вязанию крючком. В нем представлено 220 узоров , . . .

  • Журнал The Sublime Merino hand knit book №602.

    The Sublime Merino hand knit book №602.

    Название: The Sublime Merino hand knit book №602 Автор: коллектив Серия или выпуск: 602 Страниц: 44 Язык: Английский Формат: djvu Размер: 9,68 Мб Описание: Журнал по вязанию . . .

  • Журнал Laura Ganchillo №21 2001.

    Laura Ganchillo №21 2001.

    Название: Laura Ganchillo №21 2001 Автор: коллектив Серия или выпуск: 21 Год издания: 2001 Страниц: 30 Язык: Испанский Формат: jpg Размер: 5,72 Мб Описание: Журнал по вязанию крючком декоративных изд . . .

  • Журнал Laura Ganchillo №10 2002.

    Laura Ganchillo №10 2002.

    Название: Laura Ganchillo №10 2002 Автор: коллектив Серия или выпуск: 10 Год издания: 2002 Страниц: 59 Язык: Испанский Формат: jpg Размер: 11,98 Мб Описание: Журнал по вязанию крючком декоративных из . . .

Вы не зарегистрированы!

Если вы хотите скачивать книги, журналы и аудиокниги бесплатно, без рекламы и без смс, оставлять комментарии и отзывы, учавствовать в различных интересных мероприятиях, получать скидки в книжных магазинах и многое другое, то Вам необходимо зарегистрироваться в нашей Электронной Библиотеке.

Войти Регистрация

Отзывы читателей

Ой!

К сожалению, в нашей Бесплатной Библиотеке пока нет отзывов о Книге Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок. Помогите нам и другим читателям окунуться в сюжет Книги и узнать Ваше мнение. Оставьте свой отзыв или обзор сейчас, это займет у Вас всего-лишь несколько минут.