Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок
Автор: Берлин Е.В., Двинин С.А., Сейдман Л.А.
Название: Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок
Издательство: Техносфера
Год: 2007
Формат: DjVu
Размер: 1,5 Мб
В книге обобщено современное состояние одной из отраслей производства изделий электронной техники: вакуумной технологии нанесения и травления тонких пленок. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок, плазмохимических установок для травления тонких пленок и технологических особенностей их использования. Описаны математические модели, способы управления и примеры использования реактивного магнетронного напыления, принципы построения и применения среднечастотных источников питания для реактивного магнетронного напыления. Приведены теоретические основы и физические принципы конструирования нового типа источника высокочастотного разряда низкого давления для ионного или плазмохимического травления тонких пленок и/или их стимулированного плазмой осаждения.
Книга рассчитана на специалистов научно-исследовательских лабораторий, конструкторских бюро и производственных подразделений предприятий, занимающихся разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и оборудования для их производства.
Оглавление:
Часть 1. Напыление тонких пленок
Глава 1. Технологические особенности нанесения резистивных слоев
Глава 2. Технологические особенности нанесения металлизации ГИС
Глава 3. Устройство магнетронного источника распыления
Глава 4. Способы получения равномерного нанесения пленки из протяженного магнетронного источника
Глава 5. Процесс реактивного магнетронного распыления со среднечастотным источником питания магнетрона
Глава 6. Магнетронные напылительные установки предприятия . ООО «Эсто-Вакуум»
Глава 7. Технологические особенности нанесения различных слоев на магнетронной установке
Глава 8. Предотвращение появления следов электрических разрядов на металлической пленке, нанесенной с помощью магнетрона
Глава 9. Способы управления процессом реактивного магнетронного распыления с помощью вольтамперных характеристик разряда
Глава 10. Моделирование процесса реактивного нанесения
Глава 11. Получение чередующихся слоев различных диэлектриков на основе кремния в одном процессе на магнетронной установке
Часть 2. Плазмохимические процессы
Глава 12. Физические процессы и модели высокочастотного разряда низкого давления
Глава 13. Различные способы возбуждения ВЧ поля в плазме
Глава 14. Импеданс емкостного ВЧ-разряда низкого давления
Глава 15. Свойства слоя пространственного заряда
Глава 16. Возбуждение ВЧ поля в TCP-разряде
Глава 17. Распределение плотности электронов в плазме
Глава 18. Ранее выпускавшаяся установка для реактивного ионно-плазменного травления «Каролина РЕ-4» (ЭРА-ЗМ, ЭРА-4)
Глава 19. Шлюзовая установка плазмохимического травления «Каролина РЕ-11»
Глава 20. Шлюзовая установка плазмохимического травления «Каролина 15»
Глава 21. Плазменно-стимулированное осаждение слоев из газовой фазы (PCVD) с применением генератора высокоплотной плазмы типа трансформаторно-связанной плазмы (TCP)
Скачать с Depositfiles
Скачать с LetitBit
| Рейтинг: | 4.8 баллов / 2537 оценок |
| Формат: | Книга |
| Уже скачали: | 12757 раз |
Похожие Книги
Нам показалось, что Книги ниже Вас заинтересуют не меньше. Эти издания Вы так же можете скачивать и читать совершенно бесплатно на сайте!
-
Знакомимся с цифрами. Книжка с наклейками.
Название: Знакомимся с цифрами. Книжка с наклейками. Автор: Кол-тив Издательство: Росмэн-Пресс Год: 2005 Cтраниц: 14 Формат: pdf Размер: 6,49 MB Перед вами обучающая книга для занятий с ребенком 3-4 . . .
-
Умные наклейки . Динозаврики
Название: Динозаврики Серия: Умные наклейкисква, 2008 Издательство: ООО "Книги "Искателя" Кол-во траниц: 12 Формат: pdf Размер: 8.42 MB Кач-во: отличное Развивающая книжка-раскраска с наклейками и . . .
-
Комнатное цветоводство. Семь критериев отбора
Название: Комнатное цветоводство. Семь критериев отбора Год: 2004 Издательство: Media World Формат: образ диска Размер: 598 Мб Качество: eBook (изначально компьютерное) Язык: русский Всего на данном д . . .
-
Купите мне собаку
Название: Купите мне собаку! Год: 2008 Издательство: Новый Диск Формат: образ диска Размер: 769 Мб Качество: eBook (изначально компьютерное) Язык: русский «Купите мне собаку!» – рано или поздно об это . . .
-
Ремонт квартиры. 100 полезных советов
Название: Ремонт квартиры. 100 полезных советов Год: 2007 Издательство: Медиа 2000 Формат: образ диска Размер: 611 Мб Качество: eBook (изначально компьютерное) Язык: русский В энциклопедии Вы получите . . .
-
BBC Music Magazine - August 2014
Название: BBC Music MagazineГод / месяц: August 2014Формат: PDF (e-book)Размер: 25.8 MbЯзык: АнглийскийBBC MUSIC is passionate about the world of classical music and provides an expert monthly guide . . .
-
Aero Magazin (January 2002)
Название: Aero MagazinИздательство: Romec Press SRLНомер: 2Год: 1-2002Формат: PDF Страниц: 58Язык: RomanianРазмер: 52 MBRomanian aviation magazine.UploadedDepositfiles . . .
-
Как построить сельский дом
Название: Как построить сельский дом Автор: А.М.Шепелев Издательство: Россельхозиздат Год: 1995 Страниц: 400 Формат: pdf Размер: 15 MB Качество:хорошее ISBN 5-274-02215-4 Язык: Русский Описание: Эта к . . .
-
Химия. 9 класс
Название: Химия. 9 класс Автор: Новошинский И.И., Новошинская Н.С. Издательство: Русское слово Год издания: 2012 Страниц: 267 ISBN: 978-5-91218-325-6 Язык: Русский Формат: PDF Качество: хорошее Размер . . .
-
Как построить дом и сделать евроремонт
Автор:Коллектив Название: Как построить дом и сделать евроремонт Издательство: Мультитрейд Год: 2006 Формат: ISZ Размер: 105+63МВ Страниц:1000 Дом - это самая интимная часть человеческой жизни, место, . . .
Вы не зарегистрированы!
Если вы хотите скачивать книги, журналы и аудиокниги бесплатно, без рекламы и без смс, оставлять комментарии и отзывы, учавствовать в различных интересных мероприятиях, получать скидки в книжных магазинах и многое другое, то Вам необходимо зарегистрироваться в нашей Электронной Библиотеке.
Отзывы читателей
Ой!
К сожалению, в нашей Бесплатной Библиотеке пока нет отзывов о Книге Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок. Помогите нам и другим читателям окунуться в сюжет Книги и узнать Ваше мнение. Оставьте свой отзыв или обзор сейчас, это займет у Вас всего-лишь несколько минут.