Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Название: Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Автор: Киреев В.Ю., Столяров А.А.
Серия или выпуск: Мир электроники
Издательство: Техносфера
ISBN: 5-94836-039-3
Год издания: 2006
Страниц: 192
Язык: Русский
Формат: PDF
Качество: среднее
Размер: 4.2 Мб
Описание:
Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов.
Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств и недостатков при осаждении функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок.
Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов.
| Рейтинг: | 4.8 баллов / 2537 оценок |
| Формат: | Книга |
| Уже скачали: | 12787 раз |
Похожие Книги
Нам показалось, что Книги ниже Вас заинтересуют не меньше. Эти издания Вы так же можете скачивать и читать совершенно бесплатно на сайте!
-
Справочное руководство по физике. Фундаментальные концепции, основные уравнения и формулы
Книга: Справочное руководство по физике. Фундаментальные концепции, основные уравнения и формулы Автор: Ч. Пул Издательство: Мир Страниц: 461 Формат: DJVU Размер: 3.61 MB Качество: Отличное Язык: Русс . . .
-
Математика древнего Китая
Книга: Математика древнего Китая Автор: Березкина Э. И. Издательство: Наука Формат: DJVU Размер: 6,1 МБ Качество: Отличное Язык: Русский Год издания: 1980 Настоящая монография — это первая книга . . .
-
Избранные нелинейные задачи механики разрушения
Название: Избранные нелинейные задачи механики разрушения Автор: Левин В.А., Морозов Е.М., Матвиенко Ю.Г. Издательство: ФИЗМАТЛИТ Страниц: 408 Формат: PDF Размер: 18,8 Мб Качество: Отличное Язык: Русс . . .
-
Этика
Книга: Этика Автор: Гартман Н. Издательство: Владимир Даль Страниц: 712 Формат: PDF Размер: 2,24 Мб Качество: Отличное Язык: Русский Год издания: 2002 «Этика» Гартмана — это «ц . . .
-
Решение задач по физике
Книга: Решение задач по физике Автор: Кириллов В.М., Давыдов В.А., Задерновский А.А. и др. Издательство: КомКнига Страниц: 248 Формат: DJVU Размер: 1.60 MB Качество: Отличное Язык: Русский Год издания . . .
-
Сборник задач по аналитической геометрии
Название: Сборник задач по аналитической геометрии Автор: П.С. Моденов, А.С. Пархоменко Издательство: Наука Страниц: 385 Формат: DJVU Размер: 9,46 Мб Качество: Нормальное Язык: Русский Год издания: 19 . . .
-
Русские эсэсовцы
Название: Русские эсэсовцы Автор: Д. Жуков, И. Ковтун Издательство: Вече Страниц: 480 с илл. Формат: PDF Размер: 45,8 МБ Качество: Отличное Язык: Русский Жанр: Военная история Год издания: 2010 ISBN: . . .
-
Большая кровь. Как СССР победил в войне 1941-1945 гг.
Название: Большая кровь. Как СССР победил в войне 1941-1945 гг. Автор: С.С. Захаревич Издательство: Современная школа Страниц: 560 Формат: DJVU Размер: 13,3 МБ Качество: Отличное Язык: Русский Жанр: В . . .
-
Цена свободы и гармонии. Несколько штрихов к портрету греческой цивилизации
Название: Цена свободы и гармонии. Несколько штрихов к портрету греческой цивилизации Автор: Андреев Ю.В. Издательство: Алетейя Страниц: 434 Формат: PDF Размер: 6,42 Мб Качество: Отличное Язык: Русски . . .
-
Северное Причерноморье: от энеолита к античности
Название: Северное Причерноморье: от энеолита к античности Автор: Коллектив авторов Издательство: Типар Страниц: 344 Формат: DJVU Размер: 5,55 Мб Качество: Отличное Язык: Русский Год издания: 2002 ISB . . .
Вы не зарегистрированы!
Если вы хотите скачивать книги, журналы и аудиокниги бесплатно, без рекламы и без смс, оставлять комментарии и отзывы, учавствовать в различных интересных мероприятиях, получать скидки в книжных магазинах и многое другое, то Вам необходимо зарегистрироваться в нашей Электронной Библиотеке.
Отзывы читателей
Ой!
К сожалению, в нашей Бесплатной Библиотеке пока нет отзывов о Книге Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы. Помогите нам и другим читателям окунуться в сюжет Книги и узнать Ваше мнение. Оставьте свой отзыв или обзор сейчас, это займет у Вас всего-лишь несколько минут.