Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Название: Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Автор: Киреев В.Ю., Столяров А.А.
Серия или выпуск: Мир электроники
Издательство: Техносфера
ISBN: 5-94836-039-3
Год издания: 2006
Страниц: 192
Язык: Русский
Формат: PDF
Качество: среднее
Размер: 4.2 Мб
Описание:
Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов.
Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств и недостатков при осаждении функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок.
Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов.
| Рейтинг: | 4.8 баллов / 2537 оценок |
| Формат: | Книга |
| Уже скачали: | 12782 раз |
Похожие Книги
Нам показалось, что Книги ниже Вас заинтересуют не меньше. Эти издания Вы так же можете скачивать и читать совершенно бесплатно на сайте!
-
Le Fana de LAviation 1978-11
Название: Le Fana de L'AviationИздательство: Editions LariviereГод / месяц: 1978 / 11Номер: 108Формат: PDFРазмер: 57 MbСтраниц: 56Язык: FrenchLe Fana de l'Aviation - французский журнал об истории воен . . .
-
Вышивка: Просто и красиво №5 2013. Летнее настроение
Название: Вышивка: Просто и красиво №5 2013. Летнее настроениеИздатель: Газетный мирМесяц / Год: май 2013Номер: 5Формат: jpgСтраниц: 36/18Размер: 23.42 MBВышивка: Просто и красиво №5 2013. Летнее наст . . .
-
На боевом посту №11 2009
Название: На боевом посту Издательство: ГК ВВ МВД РоссииГод / месяц: 2009 / ноябрь Номер: 11Страниц: 64Формат: pdf (rar)Размер: 5.5 МбЯзык: русскийЖурнал «На боевом посту» - центральное печатное издан . . .
-
Исчезающий гном
Автор:Джеймс БлэйлокНазвание: Исчезающий гномИздательство: Азбука-классикаГод: 2004Формат: pdf, rtf, fb2Размер: 32,84 Мб"Волшебный мир, представленный самым что ни на есть волшебным образом... очутивш . . .
-
Auto Express - 12 June 2013
Название: Auto Express - 12 June 2013Автор: коллективГод: 2013Страниц: 132Формат: PDFРазмер: 43.4 MбЯзык: English Auto Express is Britain`s biggest-selling weekly car magazine. One of its core edi . . .
-
Micasa №7 2013
Название: MicasaГод / месяц: Julio 2013Номер: 225Формат: PDFРазмер: 75 MbСтраниц: 124Язык: spanish Micasa - функциональный и гармоничный журнал, готов предложить для своего читателя мир идей, советов . . .
-
Попаданец - учитель Сталина
Название: Попаданец - учитель СталинаАвтор: Анатолий Матвиенко Год издания: 2013Издательство: СамиздатФормат: RTF,FB2Размер: 10,5 Мб (+3%)Роман отвергнут издательствам . . .
-
Облачные замки
Автор:Майкл Скотт РоэнНазвание: Облачные замкиИздательство: Азбука-классикаГод: 2004Формат: pdf, rtf, fb2Размер: 38,07 МбКровопролитная борьба сил Святого Грааля с демоническим Брокеном за будущее Евр . . .
-
Повести и рассказы. Лирика (Аудиокнига)
Название: Повести и рассказы. ЛирикаАвтор: Иван БунинИздательство: Страдиз-Аудиокнига, Говорящая книгаГод: 2004Формат: mp3Размер: 630,14 MbКачество: 192 kbps - повести, 128 kbps - лирикаВремя звучания . . .
-
Инструктор. Над законом (аудиокнига)
Название: Инструктор. Над закономАвтор: Андрей ВоронинИздательство: Аудиокнига своими рукамиГод выпуска: 2013Жанр: детектив, боевикАудио кодек: MP3Битрейт аудио: 128 kbpsИсполнитель: SkorostnikПрод . . .
Вы не зарегистрированы!
Если вы хотите скачивать книги, журналы и аудиокниги бесплатно, без рекламы и без смс, оставлять комментарии и отзывы, учавствовать в различных интересных мероприятиях, получать скидки в книжных магазинах и многое другое, то Вам необходимо зарегистрироваться в нашей Электронной Библиотеке.
Отзывы читателей
Ой!
К сожалению, в нашей Бесплатной Библиотеке пока нет отзывов о Книге Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы. Помогите нам и другим читателям окунуться в сюжет Книги и узнать Ваше мнение. Оставьте свой отзыв или обзор сейчас, это займет у Вас всего-лишь несколько минут.