Бесплатная библиотека - 1 338 003 изданий в библиотеке

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

Книга Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

Название: Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Автор: Киреев В.Ю., Столяров А.А.
Серия или выпуск: Мир электроники
Издательство: Техносфера
ISBN: 5-94836-039-3
Год издания: 2006
Страниц: 192
Язык: Русский
Формат: PDF
Качество: среднее
Размер: 4.2 Мб
Описание:
Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов.
Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств и недостатков при осаждении функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок.
Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов.

Рейтинг: 4.8 баллов / 2537 оценок
Формат: Книга
Уже скачали: 12789 раз

Похожие Книги

Нам показалось, что Книги ниже Вас заинтересуют не меньше. Эти издания Вы так же можете скачивать и читать совершенно бесплатно на сайте!

  • Журнал Электрик №5 (май - 2011).

    Электрик №5 (май - 2011).

    Bosch GGS 6 S . . .

  • Аудиокнига Аудиокурсы. Природа и география России

    Аудиокурсы. Природа и география России

    Автор:КоллективНазвание: Аудиокурсы. Природа и география РоссииИздательство: ИДДКГод: 2008Формат: МР3Размер: 137МВДлительность:400минКачество:48кбит/секИсполняет:Олег МасычевВ Ваших руках увлекательны . . .

  • Книга Полная энциклопедия фэн-шуй.

    Полная энциклопедия фэн-шуй.

    Название: Полная энциклопедия фэн-шуй Автор: Савельев К. Издательство: Эксмо ISBN: 5-699-00532-3 Год издания: 2006 Страниц: 393 Язык: Русский Формат: DJVU Размер: 8.58 Мб Описание: В энциклопедии ра . . .

  • Аудиокнига Звезда адмирала Колчака (аудиокнига).

    Звезда адмирала Колчака (аудиокнига).

    Название: Звезда адмирала Колчака (аудиокнига) Автор: Владимир Максимов Издательство: Нигде не купишь Год издания: 2011 Язык: Русский Формат: МР3 Битрейт аудио: 128 kbps Время звучания: 10 ч. 39 мин . . .

  • Аудиокнига Аудиокурсы. Народы России

    Аудиокурсы. Народы России

    Автор:КоллективНазвание: Аудиокурсы. Народы РоссииИздательство:ИДДК Год: 2008Формат: МР3Размер: 200МВДлительность:600минКачество:48кбит/секИсполняет:Олег МасычевРоссия – многонациональное государство. . . .

  • Журнал Катера и Яхты №158 1995.

    Катера и Яхты №158 1995.

    Название: Катера и Яхты №158 1995 Автор: Коллектив редакции Издательство: Судостроение Год издания: 1995 Страниц: 99 Язык: Русский Формат: PDF Качество: отличное Размер: 19,71 МбОписание: «Катера и . . .

  • Книга Color Climax Exclusive BLUE CLIMAX-38 (08-1987).

    Color Climax Exclusive BLUE CLIMAX-38 (08-1987).

    Название: Color Climax Exclusive BLUE CLIMAX-38 (08-1987) Автор: Язык: Немецкий Формат: pdf Качество: отличное Размер: 150 Мб Описание: Описание отсутствует . . .

  • Книга Внутренние болезни Книга-3

    Внутренние болезни Книга-3

    Автор:Харрисон Т.Р.Название: Внутренние болезни книга-3Издательство: медицинаГод: 1993Формат: djvuРазмер: 5,14Эта книга - перевод руководства по внутренним болезням, занимающего исключительное положен . . .

  • Книга Внутренние болезни книга-4

    Внутренние болезни книга-4

    Автор:Харрисон Т.Р.Название: Внутренние болезни книга-4Издательство: медицинаГод: 1994Формат: djvuРазмер: 4,58Эта книга - перевод руководства по внутренним болезням, занимающего исключительное положен . . .

  • Аудиокнига Театр двойников (аудиокнига).

    Театр двойников (аудиокнига).

    Название: Театр двойников (аудиокнига) Автор: Наталья Нестерова Издательство: Нигде не купишь Год издания: 2011 Язык: Русский Формат: МР3 Битрейт аудио: 128 kbps Время звучания: 6 часов 15 минут Чит . . .

Вы не зарегистрированы!

Если вы хотите скачивать книги, журналы и аудиокниги бесплатно, без рекламы и без смс, оставлять комментарии и отзывы, учавствовать в различных интересных мероприятиях, получать скидки в книжных магазинах и многое другое, то Вам необходимо зарегистрироваться в нашей Электронной Библиотеке.

Войти Регистрация

Отзывы читателей

Ой!

К сожалению, в нашей Бесплатной Библиотеке пока нет отзывов о Книге Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы. Помогите нам и другим читателям окунуться в сюжет Книги и узнать Ваше мнение. Оставьте свой отзыв или обзор сейчас, это займет у Вас всего-лишь несколько минут.