Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, взаимодействие электронного луча с резистом, способы изготовления фотошаблонов и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Даны примеры электронно-лучевых установок, тенденции их усовершенствования. Определены области наиболее целесообразного применения электроннолучевой литографии. Для широкого круга инженерно-технических работников, занимающихся проектированием и изготовлением полупроводниковых приборов н интегральных схем.
Название: Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов
Автор: Брюэр Дж. Р., Гринич Д. С., Херриот Д. Р., Хендерсон Р. К. и др.
Издательство: Радио и связь
Год издания: 1984
Страниц: 336
Формат: djvu
Размер: 4.31 Mб
Если Вы хотите скачать Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов воспользуйтесь файлообменниками, которые расположены нижеСкачать с depositfiles.com
Скачать с turbobit.net
Рейтинг: | 4.8 баллов / 2537 оценок |
Формат: | Книга |
Уже скачали: | 12885 раз |
Нам показалось, что Книги ниже Вас заинтересуют не меньше. Эти издания Вы так же можете скачивать и читать совершенно бесплатно на сайте!
Автор: Кэтрин СпэнсерНазвание: Сборник произведенийИздательство: РадугаГод: 1995-2007Формат: RTFРазмер: 1.75 МбЯзык: РусскийСтраниц: >500Сборник современных любовных романов писательницы из Великобрит . . .
Название: 101 РейкьявикАвтор: Халлгримур Хельгасон Год издания: 2008Издательство: Азбука-классикаISBN: 978-5-91181-818-0Страниц: 510Формат: FB2 Размер: . . .
Автор: Лиз ФилдингНазвание: Сборник произведенийИздательство: Издательский дом на Страстном, РадугаГод: 1998-2004Формат: RTFРазмер: 2.59 МбЯзык: РусскийСтраниц: >500Сборник современных романов о любви . . .
Автор: Карла КэссидиНазвание: Сборник произведенийИздательство: Радуга, АСТГод: 1996-2009Формат: RTFРазмер: 2 МбЯзык: РусскийСтраниц: >500Современные любовные романы американской писательницы Карлы Кэ . . .
Название: Соблазн на всю ночьАвтор: Лиз КарлайлСерия: Семья НевиллНомер книги в серии: 4Издательство: АСТ, ВКТГод издания: 2010Страниц: 320ISBN: 978-5-17-064420-9Формат: FB2, RTFРазмер: 5 МбОписание:Л . . .
Автор: Кэтти УияльмсНазвание: Сборник произведенийИздательство: РадугаГод: 1996-2007Формат: RTFРазмер: 2.57 МбЯзык: РусскийСтраниц: >500Подборка коротких любовных романов американской писательницы Кэт . . .
Автор: Элизабет Беверли (Биварли)Название: Сборник произведенийИздательство: Радуга, ЭксмоГод: 1997-2004Формат: RTFРазмер: 1.72 МбЯзык: РусскийСтраниц: >500Сборник коротких современных романов для жен . . .
Автор: Кэрол МортимерНазвание: Сборник произведенийИздательство: Радуга, ПанорамаГод: 1995-2006Формат: RTFРазмер: 5.49 МбЯзык: РусскийСтраниц: >1000Сборник современных романов о любви британской писат . . .
Автор: Ли МайклсНазвание: Сборник произведенийИздательство: РадугаГод: 1995-2003Формат: RTFРазмер: 2.24 МбЯзык: РусскийСтраниц: >500Короткие современные романы о любви британской писательницы Ли Майкл . . .
Автор: Кей ТорпНазвание: Сборник произведенийИздательство: Радуга, Панорама, ЦентрполиграфГод: 1997-2007Формат: RTFРазмер: 4.17 МбЯзык: РусскийСтраниц: >1000Сборник современных любовных романов америк . . .
Если вы хотите скачивать книги, журналы и аудиокниги бесплатно, без рекламы и без смс, оставлять комментарии и отзывы, учавствовать в различных интересных мероприятиях, получать скидки в книжных магазинах и многое другое, то Вам необходимо зарегистрироваться в нашей Электронной Библиотеке.
К сожалению, в нашей Бесплатной Библиотеке пока нет отзывов о Книге Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов. Помогите нам и другим читателям окунуться в сюжет Книги и узнать Ваше мнение. Оставьте свой отзыв или обзор сейчас, это займет у Вас всего-лишь несколько минут.