Технология полупроводникового кремния


Книга Технология полупроводникового кремния


Название: Технология полупроводникового кремния
Автор: Фалькевич Э.С.(ред.)
Издательство: Металлургия
Год: 1992
Страниц: 408
ISBN: 5-229-00740-0
Формат: DJVU
Размер: 5.2 Мб
Язык: русский
Изложены физико-химические основы технологии полупроводникового кремния, рассмотрены свойства технологических материалов, влияние структурных несовершенств и термической обработки на электрофизические и физико-химические свойства кремния, процессы получения кремния и оборудование, в том числе вакуумное и криогенное, способы получения кремния с заранее заданными свойствами, приведены области его применения. Значительное внимание уделено контролю качества продукции, технике безопасности в кремниевом производстве.
Для инженерно-технических работников и специалистов полупроводниковой промышленности, студентов.
Оглавление
Предисловие
Физико-химические основы получения полупроводникового кремния
Современные представления о строении веществ
Кинетические явления
Основы термодинамики
Механизм фазового перехода
Структура межфазной границы раздела
Рост кристаллов из жидкой и газовой фаз
Свойства полупроводникового кремния и методы их контроля
Физико-химические свойства кремния
Параметры и методы их определения
Методы получения чистого кремния, оборудование и технология промежуточных кремниисодержащих соединений
Производство чистого кремния
Получение технического кремния
Получение силанов
Очистка соединений кремния методом ректификации
Контроль качества кремний со держащих соединений
Технология и оборудование для получения поликристаллических кремниевых стержней
Получение кремниевых стержней в процессе водородного восстановления хлорсиланов
Получение кремниевых стержней термическим разложением силана
Выращивание монокристаллов кремния из расплава
Метод Чохральского
Бестигельная зонная плавка
Чистота и микроклимат в производственных помещениях
Вспомогательные технологические газы и оборудование
Технологические газы
Криогенная техника
Холодильные машины
Вакуумное оборудование
Очистка воды
Материалы аппаратов
Основные элементы техники безопасности
Библиографический список

Скачать с bezsms.org
Скачать с turbobit.net
Скачать с depositfiles.com
Скачать с hitfile.net

Рейтинг: 4.8 баллов / 2537 оценок
Формат: Книга
Уже скачали: 12860 раз



Похожие Книги

Нам показалось, что Книги ниже Вас заинтересуют не меньше. Эти издания Вы так же можете скачивать и читать совершенно бесплатно на сайте!


Вы не зарегистрированы!

Если вы хотите скачивать книги, журналы и аудиокниги бесплатно, без рекламы и без смс, оставлять комментарии и отзывы, учавствовать в различных интересных мероприятиях, получать скидки в книжных магазинах и многое другое, то Вам необходимо зарегистрироваться в нашей Электронной Библиотеке.

Отзывы читателей


Ой!

К сожалению, в нашей Бесплатной Библиотеке пока нет отзывов о Книге Технология полупроводникового кремния. Помогите нам и другим читателям окунуться в сюжет Книги и узнать Ваше мнение. Оставьте свой отзыв или обзор сейчас, это займет у Вас всего-лишь несколько минут.