Технология кремниевой наноэлектроники


Книга Технология кремниевой наноэлектроники


Автор: Данилина Т.И., Кагадей В.А., Анищенко Е.В.
Название: Технология кремниевой наноэлектроники
Издательство: Томск: В-Спектр
Год: 2011
Страниц: 263
Формат: PDF
Размер: 3.69 Мб
В учебное пособие включено описание новых технологических процессов, которые составляют основу современного производства сверхбольших интегральных схем (СБИС) и других устройств кремниевой наноэлектроники. К таким процессам относятся субмикронная литография, ионное легирование, быстрый термический отжиг, ионное и плазмохимическое травление наноструктур, атомно-слоевое и ионно-плазменное осаждение металлов и диэлектриков, химико-механическая планаризация. Изложены технологические маршруты формирования СБИС.
Скачать с File-space.org
Скачать с Dfiles.ru
Скачать с Turbobit.net

Рейтинг: 4.8 баллов / 2537 оценок
Формат: Книга
Уже скачали: 12862 раз



Похожие Книги

Нам показалось, что Книги ниже Вас заинтересуют не меньше. Эти издания Вы так же можете скачивать и читать совершенно бесплатно на сайте!


Вы не зарегистрированы!

Если вы хотите скачивать книги, журналы и аудиокниги бесплатно, без рекламы и без смс, оставлять комментарии и отзывы, учавствовать в различных интересных мероприятиях, получать скидки в книжных магазинах и многое другое, то Вам необходимо зарегистрироваться в нашей Электронной Библиотеке.

Отзывы читателей


Ой!

К сожалению, в нашей Бесплатной Библиотеке пока нет отзывов о Книге Технология кремниевой наноэлектроники. Помогите нам и другим читателям окунуться в сюжет Книги и узнать Ваше мнение. Оставьте свой отзыв или обзор сейчас, это займет у Вас всего-лишь несколько минут.