Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Название: Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Автор: Киреев В.Ю., Столяров А.А.
Издательство: Техносфера
Год: 2006
Страниц: 192
ISBN: 5-94836-039-3
Формат: PDF
Размер: 4.2 Mб
Язык: русский
Серия: Мир электроники
Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств и недостатков при осаждении функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок.
Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов.
letitbit.net
cash-file.com
shareflare.net
depositfiles.com
| Рейтинг: | 4.8 баллов / 2537 оценок |
| Формат: | Книга |
| Уже скачали: | 12772 раз |
Похожие Книги
Нам показалось, что Книги ниже Вас заинтересуют не меньше. Эти издания Вы так же можете скачивать и читать совершенно бесплатно на сайте!
-
Detective Story Magazine (August, 1921)
Название: Detective Story MagazineГод / месяц: 1921/AugustНомер: Vol.42 №6Язык: английскийСтраниц: 148Формат: JPGРазмер: 152,27 МбЖурнал детективных историй.http://dfiles.ru/files/p6a09x0klLittlebyte. . . .
-
Весёлые идейки №05 (май) 2009 pdf 27,7Мб
Название: Журнал "Весёлые идейки"Год: 2009Выпуск: 5 (май)Страниц: 33Язык: русскийФормат: pdfРазмер: 27,7 Мб (добавлено 5% на восстановление)«Веселые идейки» – журнал семейной арт-терапии. Для дошкольн . . .
-
ЗАПРЕТОВ.net 40 правил НЛП для жизни в кайф mp3, 128 kbps 400Мб
Название: ЗАПРЕТОВ.net 40 правил НЛП для жизни в кайфАвтор: Диана БалыкоГод: 2008Общее время звучания: 7 часов 04 минутыИсполнитель: Елена ЧебатуркинаЖанр: психологияИздательство: Эксмо-СидикомФормат: . . .
-
Норбеков Мирзакарим - Диск №3 Образ молодости, Восстановление позвоночника 43,5Мб
Название: Образ молодости, Восстановление позвоночникаГод выпуска: 2005Автор: НОРБЕКОВИсполнитель: Макрица А.Н, Залина А.Ф. Тип: аудиокнигаАудио кодек: MP3Размер: 43.5 мБ.Система Норбекова Диск №3 2 ч . . .
-
Волшебные клубки. Основные приемы вязания. Сборка изделия. Практические советы djvu в архиве rar 13,7Мб
Название: «Волшебные клубки: основные приемы вязания, сборка изделия, практические советы»Автор: Катарина БуссИздательство: Ниола 21 векГод издания: 2006Язык: русскийСтраниц: 121Формат: djvu в а . . .
-
Меланж № 9 djvu 11,1Мб
Название: МеланжНомер: 9Формат: DJVUРазмер: 11,1 МбЖурнал по вязаниюСкачать:Скачать с http://ifolder.ru/12037425 . . .
-
мастерица №1 2008 djvu 4,36Мб
Название: МастерицаГод / месяц: 2008Номер: 1Формат: DJVUРазмер: 4,36 мбЖурнал по вязаниюСкачать:Скачать с http://ifolder.ru/12037506 . . .
-
Elle №7 (июль 2014) Россия
Elle - самый популярный журнал мод в мире. Его концепция уникальна: понятие «мода» выходит за привычные рамки и имеет отношение к образу жизни в целом. Elle - это новейшие тенденции в области lifest . . .
-
Meginiu №26 2009 djvu 32,5Мб
Название: MezginiuГод / месяц: 2009Номер: 26Формат: DJVUРазмер: 32,5 МбИностранный журнал по вязанию (язык не русский)Скачать:Скачать с http://ifolder.ru/12037765 . . .
-
Наталья №6 2008 djvu 13Мб
Название: НатальяГод / месяц: 2008Номер: 6(77)Формат: DJVUРазмер: 13,0 МбЖурнал по вязаниюСкачать:Скачать с http://ifolder.ru/12038062 . . .
Вы не зарегистрированы!
Если вы хотите скачивать книги, журналы и аудиокниги бесплатно, без рекламы и без смс, оставлять комментарии и отзывы, учавствовать в различных интересных мероприятиях, получать скидки в книжных магазинах и многое другое, то Вам необходимо зарегистрироваться в нашей Электронной Библиотеке.
Отзывы читателей
Ой!
К сожалению, в нашей Бесплатной Библиотеке пока нет отзывов о Книге Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы. Помогите нам и другим читателям окунуться в сюжет Книги и узнать Ваше мнение. Оставьте свой отзыв или обзор сейчас, это займет у Вас всего-лишь несколько минут.