Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
Название: Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
Автор: Берлин Е.В., Сейдман Л.А.
Издательство: Техносфера
Год: 2010
Страниц: 544
ISBN: 978-5-94836-222-9
Формат: PDF
Размер: 51.5 Мб
Язык: русский
Серия: Мир материалов и технологий
Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии - реактивному магметронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов.
Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Приведены принципы конструирования источника высокочастотного разряда высокой плотности для ионного или плазмохимического прецизионного травления тонких пленок, а также его использования для стимулированного плазмой осаждения тонких пленок. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старщих курсов и аспирантов соответствующих специализаций.
Скачать с bezsms.org
Скачать с turbobit.net
Скачать с depositfiles.com
Скачать с borncash.org
Название: Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
Автор: Берлин Е.В., Сейдман Л.А.
Издательство: Техносфера
Год: 2010
Страниц: 544
ISBN: 978-5-94836-222-9
Формат: PDF
Размер: 51.5 Мб
Язык: русский
Серия: Мир материалов и технологий
Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии - реактивному магметронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов.
Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Приведены принципы конструирования источника высокочастотного разряда высокой плотности для ионного или плазмохимического прецизионного травления тонких пленок, а также его использования для стимулированного плазмой осаждения тонких пленок. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старщих курсов и аспирантов соответствующих специализаций.
Скачать с bezsms.org
Скачать с turbobit.net
Скачать с depositfiles.com
Скачать с borncash.org
| Рейтинг: | 4.8 баллов / 2537 оценок |
| Формат: | Книга |
| Уже скачали: | 12879 раз |
Похожие Книги
Нам показалось, что Книги ниже Вас заинтересуют не меньше. Эти издания Вы так же можете скачивать и читать совершенно бесплатно на сайте!
-
Ремонтируем отечественный (сборка) монитор Samsung
Название: Ремонтируем отечественный (сборка) монитор Samsung Автор: Коллектив Издательство: Россия Год издания: 2013 Язык: Русский Формат: MP4 Качество: отличное Размер: 207.02 МбОписание: Современн . . .
-
Electronics For You №2 2013
Название: Electronics For YouГод / месяц: 2013 / февральНомер: 2Формат: pdfРазмер: 127,93 МбЯзык: АнглийскийElectronics For You is a magazine for people with a passion for Electronics and Technology. . . .
-
Electronics For You №7 2013
Название: Electronics For YouГод / месяц: 2013 / июльНомер: 7Формат: pdfРазмер: 48,66 МбЯзык: АнглийскийElectronics For You is a magazine for people with a passion for Electronics and Technology. Sin . . .
-
Electronics For You №3 2013
Название: Electronics For YouГод / месяц: 2013 / февральНомер: 3Формат: pdfРазмер: 23,9 МбЯзык: АнглийскийElectronics For You is a magazine for people with a passion for Electronics and Technology. S . . .
-
Искорка №01 1957
Название: Искорка №01 1957 Автор: Коллектив Издательство: Искорка Год издания: 1957 Страниц: 35 Язык: Русский Формат: PDF Качество: отличное Размер: 15.4 МбОписание: Журнал был создан в далёком 1957 . . .
-
Cosmopolitan №1 (январь 2014) Украина
Cosmopolitan — стиль жизни для миллионов ярких, уверенных в себе, амбициозных девушек с чувством юмора. Cosmo вдохновляет, советует, рассказывает о сексуальности, любви, отношениях, самореализации, . . .
-
World of Warcraft: Испепелитель №1-4
Название: World of Warcraft: ИспепелительГод / месяц: 10 Сентября 2008-25 Февраля 2009Номер: 1-4, BonusФормат: cbrРазмер: 45.04 MBВ сборнике уместилась вся серия комиксов про легендарный меч и даже бо . . .
-
Капустин А. В., Расюк С. А., Шульгин А. Н. - KIA Spectra. Руководство по эксплуатации, техническому обслуживанию и ремонту
KIA Spectra. Руководство по эксплуатации, техническому обслуживанию и ремонту - Предлагаем вашему вниманию руководство по ремонту и эксплуатации автомобиля KIA Spectra, оснащенного бензиновым двигат . . .
-
Зарубежное военное обозрение №3 1979
Авторы: коллективНазвание: Зарубежное военное обозрение №3 1979Издательство: "Красная звезда", МоскваГод / месяц: 1979/МартКоличество страниц: 80 стр. + две цветных вклейки.Язык: русскийФормат: PDF в . . .
-
Изысканные блюда для праздничного стола. Бойко Е.А. pdf 10Мб
Название: Изысканные блюда для праздничного стола Автор: Бойко Е.А. Издательство: АСТ, АстрельГод: 2010 Страниц: 34ISBN: 978-5-17-059645-4, 978-5-271-23969-4Язык: русскийСерия: Миллион рецептовФормат: . . .
Вы не зарегистрированы!
Если вы хотите скачивать книги, журналы и аудиокниги бесплатно, без рекламы и без смс, оставлять комментарии и отзывы, учавствовать в различных интересных мероприятиях, получать скидки в книжных магазинах и многое другое, то Вам необходимо зарегистрироваться в нашей Электронной Библиотеке.
Отзывы читателей
Ой!
К сожалению, в нашей Бесплатной Библиотеке пока нет отзывов о Книге Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии. Помогите нам и другим читателям окунуться в сюжет Книги и узнать Ваше мнение. Оставьте свой отзыв или обзор сейчас, это займет у Вас всего-лишь несколько минут.