Физико-химические основы технологи полупроводниковых материалов
Автор: Крапухин В.В., Соколов И.Л., Кузнецов Г.Д.
Название: Физико-химические основы технологи полупроводниковых материалов
Издательство: М. Металлургия
Год: 1982
Формат: djvu
Размер: 5 mb
Изложены основы термодинамики необратимых процессов и общие закономерности кинетики гомогенных и гетерогенных процессов, в которых наиболее существенное значение имеют процессы тепло- и массопереноса в неподвижной и движущейся средах. Рассмотрены процессы получения монокристаллов и эпитаксиальных слоев полупроводниковых материалов, а также процессы зародышеобразования, роста кристаллов и причины возникновения дефектов структуры. Даны алгоритмы и блок схемы для решения задач. Для научных работников, инженеров и студентов, занимающихся получением монокристаллов и эпитаксиальных слоев полупроводниковых материалов.
Содержание:
Показать / Скрыть текстПредисловие
Общие закономерности процессов получения полупроводниковых материалов
Термодинамика фазовых равновесий
Основные термодинамические соотношения для растворов
Концентрационная и температурная зависимости коэффициента активности
Равновесие жидкость-твердое
Равновесие жидкость-пар
Равновесия твердое-пар и жидкость-твердое-пар
Явления на границе раздела фаз
Термодинамика необратимых процессов
Основные положения термодинамики необратимых процессов
Приложение основных положений термодинамики необратимых процессов к процессам тепло- и массообмена
Поток теплоты и массы в разбавленных растворах и бинарной смеси идеальных газов
Массо- и теплообмен в неподвижной среде
Дифференциальные уравнения нестационарных процессов массо- и теплообмена в неподвижной среде
Применение теории подобия и моделирования для решения дифференциальных уравнений теплообмена в неподвижной среде
Теплопередача в стационарных условиях. Использование ЭВМ для решения задач
Конвективный тепло- и массообмен. Кинетика гетерогенных процессов
Дифференциальные уравнения движения среды. Критерии подобия
Режимы движения среды. Распределение скорости в сечении трубы при ламинарном и турбулентном движении
Особенности движения разреженных газов
Дифференциальные и критериальные уравнения конвективного массо- и теплообмена
Явления на границе раздела фаз в процессах конвективного тепло- и массообмена. Динамический, диффузионный и тепловой пограничные слои
Кинетика гетерогенных процессов
Основы атомно-молекулярных процессов кристаллизации
Основные модели роста кристаллов
Атомная структура кристаллической поверхности
Начальные стадии формирования кристалла
Кинетика роста кристалла
Передача теплоты излучением
Основные закономерности теплообмена излучением
Теплообмен излучением между двумя поверхностями в замкнутом пространстве
Тепловые потери при наличии экранной изоляции. Алгоритм расчета на ЭВМ
Процессы получения полупроводниковых материалов
Процессы получении пленок, эпитаксиальных слоев и монокристаллов дистилляцией и сублимацией
Примеры использования процессов дистилляции и сублимации
Основные закономерности процессов дистилляции и сублимации
Кинетика процессов дистилляции и сублимации
Молекулярная дистилляция и сублимация
Кинетические особенности получения монокристаллов и эпитаксиальных слоев разлагающихся полупроводниковых соединений дистилляцией и сублимацией
Процессы ректификации и абсорбции
Принцип действия и рабочие линии ректификационных колонн
Кинетика массообмена в ректификационных колоннах различного типа
Расчет процесса ректификации
Ректификация многокомпонентных систем и ее расчет
Рабочая линия и расчет процесса абсорбции
Процессы получения эпитаксиальных слоев и высокочистых элементов водородным восстановлением
Основные типы процессов водородного восстановления
Термодинамика процесса водородного восстановления при одновременном протекании нескольких реакций
Кинетика процесса водородного восстановления. Лимитирующие стадии процесса
Легирование при получении эпитаксиальных слоев и полупроводниковых кристаллов водородным восстановлением из галогенидов
Процессы получения эпитаксиальных слоев и монокристаллов методом химических транспортных реакций
Некоторые примеры использования химических транспортных реакций для получения эпитаксиальных слоев. Термодинамическое обоснование возможности химического транспорта и очистки в процессе переноса
Термодинамика процесса химического транспорта в сложных системах
Кинетика процесса химического транспорта
Процессы кристаллизации из расплавов
Основные методы кристаллизации из расплавов. Уравнения материального баланса компонентов и баланса объемов
Распределение примеси в кристаллах, полученных методами нормальной направленной кристаллизации, Чохральского и зонной перекристаллизации
Влияние диффузии в жидкой фазе на распределение примеси
Движение расплава и эффективный коэффициент распределения примеси
Влияние взаимодействия с паровой фазой на распределение примеси в кристалле
Получение монокристаллов с равномерным распределением легирующей примеси по длине программированием параметров процесса
Получение методом Чохральского монокристаллов с равномерным распределением примеси по длине при подпитке расплавом
Тепловые процессы при росте монокристаллов
Процессы кристаллизации из растворов-расплавов
Разновидности методов жидкофазной эпитаксии к получения монокристаллов из растворов-расплавов
Кинетика кристаллизации при молекулярной диффузии в растворе-расплаве
Рекомендательный библиографический список
Bezsms | Uploaded | Deposit
| Рейтинг: | 4.8 баллов / 2537 оценок |
| Формат: | Книга |
| Уже скачали: | 12746 раз |
Похожие Книги
Нам показалось, что Книги ниже Вас заинтересуют не меньше. Эти издания Вы так же можете скачивать и читать совершенно бесплатно на сайте!
-
Андрей Буревой - Одержимый - 2 rtf, fb2 / rar 12,26Мб
Название: Одержимый - 2Автор: Андрей БуревойЖанр: ФэнтезиГод: 2012Страниц: 581Язык: РусскийФормат: rtf, fb2 / rarРазмер: 12,26 Mb Тогда ведь, в тот злополучный день, я сразу поверил эсс-тарху Бачуру, . . .
-
Денис Чекалов - Зомби rtf, fb2 / rar 11,58Мб
Название: ЗомбиАвтор: Денис ЧекаловЖанр: Боевая фантастика, ужасыГод: 2011Страниц: 552Язык: РусскийФормат: rtf, fb2 / rarРазмер: 11,58 Mb Проклятые Земли – аномальная зона, что пролегла в долине Морбо . . .
-
Дмитрий Емец - Таня Гроттер и Золотая Пиявка (аудиокнига) 138Мб
Гром сотрясает магическую школу Тибидохс. Молнии бьют в одну точку – в каменную кладку у крыши Большой Башни. А в заброшенной сторожке у болота Таня Гроттер обнаруживает забытое пророчество Древнира. . . .
-
Ф.К. Каст, Кристин Каст - Пробужденная rtf, fb2 / rar 12,62Мб
Название: ПробужденнаяАвтор: Ф.К. Каст, Кристин КастИздательство: Олма Медиа ГруппЖанр: Любовная фантастика, мистика, ужасыГод: 2011Страниц: 464Язык: РусскийФормат: rtf, fb2 / rarРазмер: 12,62 Mb Опра . . .
-
Анджей Сапковский - Ведьмак (аудиокнига) читает Анатолий Шилов 106Мб
Незнакомец появился с севера. Был он еще не стар, но волосы у него были почти совершенно белыми. Путник зашел в трактир выпить пива, но, так случилось — убил пару тройку голодранцев. Затем заставил го . . .
-
Алексей Дуров - Понять дракона (Аудиокнига) 131Мб
Автор: Алексей ДуровНазвание: Понять драконаИздательство: ФантаскопЭту книгу озвучил: Олег ШубинГод выпуска: 2012Жанр: ФантастикаАудио кодек: MP3Битрейт аудио: 128 kbps Продолжительность: 02 ч. 20 мин . . .
-
Т. Минасян и Г. Неделько - Проблема планетарного масштаба (Аудиокнига) 42Мб
Автор: Т. Минасян и Г. НеделькоНазвание: Проблема планетарного масштабаИздательство: ФантаскопЭту книгу озвучил: Олег ШубинГод выпуска: 2012Жанр: ФантастикаАудио кодек: MP3Битрейт аудио: 128 kbps Прод . . .
-
Александр Конторович - Черный снег. Выстрел в будущее (аудиокнига) 694,34Мб
Выживет ли наш современник, пусть даже ветеран спецназа, оказавшись в кровавом аду 1941 года,да ещё и в телах матерого зэка, штрафника и не совсем обычного красноармейца?Помогут ли боевые навыки леген . . .
-
Юрий Корчевский - Хождение за тридевять веков. Торговый гость из будущего rtf, fb2 / rar 10,4Мб
Название: Хождение за тридевять веков. Торговый гость из будущегоАвтор: Юрий КорчевскийИздательство: Эксмо, ЯузаЖанр: Альтернативная историяГод: 2012Страниц: 320Язык: РусскийФормат: rtf, fb2 / rarРазм . . .
-
72 книги из серии "Военно-историческая фантастика" fb2, rtf 297,28Мб
Военно-историческая фантастика – это крайне интересная серия книг, которая публикуется с 2008 года. Много произведений этой серии написаны как раз русскими авторами в таких жанрах, как альтернативная . . .
Вы не зарегистрированы!
Если вы хотите скачивать книги, журналы и аудиокниги бесплатно, без рекламы и без смс, оставлять комментарии и отзывы, учавствовать в различных интересных мероприятиях, получать скидки в книжных магазинах и многое другое, то Вам необходимо зарегистрироваться в нашей Электронной Библиотеке.
Отзывы читателей
Ой!
К сожалению, в нашей Бесплатной Библиотеке пока нет отзывов о Книге Физико-химические основы технологи полупроводниковых материалов. Помогите нам и другим читателям окунуться в сюжет Книги и узнать Ваше мнение. Оставьте свой отзыв или обзор сейчас, это займет у Вас всего-лишь несколько минут.