Быстрые термообработки в технологии СБИС
Название: Быстрые термообработки в технологии СБИС
Автор: Пилипенко В.А.
Издательство: Мн.: Изд. центр БГУ
Страниц: 531
Формат: PDF
Размер: 20.8 Мб
Качество: Нормальное
Язык: Русский
Год издания: 2004
ISBN: 985-476-251-3
В монографии рассмотрены физические процессы, вызывающие нагрев кремниевых пластин в результате их облучения импульсами когерентного и некогерентного света.
Приведены расчеты температурных полей и термических напряжений, возникающих в кремниевых пластинах при такой обработке, их влияние на параметры исходных кремниевых пластин и диэлектрических покрытий, а также даны характеристики основных видов оборудования, применяемого для БТО. Представлены результаты применения БТО в технологии СБИС, а именно для гетгерирования быстродиффундирующих примесей, очистки поверхности, формирования субмикронных зпитаксиальных слоев, отжига ионнолегированных слоев в моно- и поликристаллическом кремнии, планаризации поверхности, формирования силицидов, омических контактов. Кроме того, большое внимание уделяется моделированию и изучению параметров биполярных ИМС, сформированных с применением БТО. Предназначена для научных и инженерно-технических работников, занимающихся разработкой технологии создания СБИС с субмикронными размерами, а также преподавателей, студентов и аспирантов радиоэлеиронного профиля.
| Рейтинг: | 4.8 баллов / 2537 оценок |
| Формат: | Книга |
| Уже скачали: | 12800 раз |
Похожие Книги
Нам показалось, что Книги ниже Вас заинтересуют не меньше. Эти издания Вы так же можете скачивать и читать совершенно бесплатно на сайте!
-
Functional Training for Sports
Mike Boyle ISBN: 0-7360-4681-х Издательство: Human Kinetics Publishers Год издания: 2004 Страниц: 171 Язык: английский Формат: PDF Размер: 35 Мб Функциональный тренинг представляет собой . . .
-
Одиночное, двойное и восстанавливающее дыхание
Коллектив Издательство: Россия Год издания: 2014 Страниц: 15 мин Язык: русский Формат: Видео Размер: 250.41 Mb Одиночное силовое дыхание, двойное силовое дыхание и восстанавливающее - это . . .
-
Финансирование инновационной деятельности в строительстве
Название: Финансирование инновационной деятельности в строительствеАвтор: Плотников А.Н.Издательство: Форум Год: 2012Страниц: 144ISBN: 978-5-91134-560-0Формат: PDFРазмер: 6 МбЯзык: русскийВ учебном по . . .
-
Экономический анализ
Название: Экономический анализАвтор: Романова Л.Е., Давыдова Л.В., Коршунова Г.В. Год издания: 2011Издательство: ПитерISBN: 978-5-49807-892-2Страниц: 336 с.: ил. Форм . . .
-
Hakel Deckchen №26, 2012
Издательство: OZ-Verlags-GmbH Год издания: 2012 Страниц: 31 Язык: другой Формат: JPG Размер: 28 MB Журнал по вязанию крючком на немецком языке. depositfiles.com turbobit.net . . .
-
Современная электроника №7 (август), 2014
Колектив авторов Издательство: СТА-Пресс Год издания: 2013 Страниц: 92 Язык: русский Формат: PDF Размер: 52 Мб «Современная электроника» - ведущий журнал для специалистов, менеджеров и ру . . .
-
Упражнения от болей в плече
Коллектив Издательство: Россия Год издания: 2014 Страниц: 21 мин Язык: русский Формат: Видео Размер: 252.15 Mb Плечевой сустав имеет уникальное строение и, в отличие от других суставных с . . .
-
Детские игры, преимущественно русские. (В связи с историей, этнографией, педагогией и гигиеной)
Автор: Покровский Е.А.Название: Детские игры, преимущественно русские. (В связи с историей, этнографией, педагогией и гигиеной)Издательство: Типо-литография В.Ф. Рихтер (Москва)Год: 1895Количество стр . . .
-
Сокровищница мудрости
Джим Рон ISBN: 978-5-9614-1578-0 Издательство: Альпина Паблишер Год издания: 2011 Страниц: 112 Язык: русский Формат: DJVU Размер: 11 Мб Собрание лаконичных и мудрых изречений о деньгах и . . .
-
Чтобы малины было много!
Коллектив Издательство: Россия Год издания: 2014 Страниц: 7 мин Язык: русский Формат: Видео Размер: 499.47 Mb Несмотря на то, что малина известна людям с древнейших времен и выращивается . . .
Вы не зарегистрированы!
Если вы хотите скачивать книги, журналы и аудиокниги бесплатно, без рекламы и без смс, оставлять комментарии и отзывы, учавствовать в различных интересных мероприятиях, получать скидки в книжных магазинах и многое другое, то Вам необходимо зарегистрироваться в нашей Электронной Библиотеке.
Отзывы читателей
Ой!
К сожалению, в нашей Бесплатной Библиотеке пока нет отзывов о Книге Быстрые термообработки в технологии СБИС. Помогите нам и другим читателям окунуться в сюжет Книги и узнать Ваше мнение. Оставьте свой отзыв или обзор сейчас, это займет у Вас всего-лишь несколько минут.