Бесплатная библиотека - 1 338 003 изданий в библиотеке

Быстрые термообработки в технологии СБИС

Книга Быстрые термообработки в технологии СБИС

Название: Быстрые термообработки в технологии СБИС
Автор: Пилипенко В.А.
Издательство: Мн.: Изд. центр БГУ
Страниц: 531
Формат: PDF
Размер: 20.8 Мб
Качество: Нормальное
Язык: Русский
Год издания: 2004
ISBN: 985-476-251-3
В монографии рассмотрены физические процессы, вызывающие нагрев кремниевых пластин в результате их облучения импульсами когерентного и некогерентного света.
Приведены расчеты температурных полей и термических напряжений, возникающих в кремниевых пластинах при такой обработке, их влияние на параметры исходных кремниевых пластин и диэлектрических покрытий, а также даны характеристики основных видов оборудования, применяемого для БТО. Представлены результаты применения БТО в технологии СБИС, а именно для гетгерирования быстродиффундирующих примесей, очистки поверхности, формирования субмикронных зпитаксиальных слоев, отжига ионнолегированных слоев в моно- и поликристаллическом кремнии, планаризации поверхности, формирования силицидов, омических контактов. Кроме того, большое внимание уделяется моделированию и изучению параметров биполярных ИМС, сформированных с применением БТО. Предназначена для научных и инженерно-технических работников, занимающихся разработкой технологии создания СБИС с субмикронными размерами, а также преподавателей, студентов и аспирантов радиоэлеиронного профиля.

Рейтинг: 4.8 баллов / 2537 оценок
Формат: Книга
Уже скачали: 12800 раз

Похожие Книги

Нам показалось, что Книги ниже Вас заинтересуют не меньше. Эти издания Вы так же можете скачивать и читать совершенно бесплатно на сайте!

  • Журнал Справочник по полупроводниковым приборам и их аналогам pdf, djvu 11Мб

    Справочник по полупроводниковым приборам и их аналогам pdf, djvu 11Мб

    В справочнике приведены сведения о более 5000 тыс. зарубежных и отечественных полупроводниковых приборов (диодах, стабилитронах и стабисторах, диодах СВЧ, варикапах, тиристорах, светодиодах, оптронах, . . .

  • Журнал 101 Windows Phone 7 Apps, Volume I: Developing Apps 1-50 книги: pdf 23,3Мб

    101 Windows Phone 7 Apps, Volume I: Developing Apps 1-50 книги: pdf 23,3Мб

    Название книги: 101 Windows Phone 7 Apps, Volume I: Developing Apps 1-50 Автор книги: Adam Nathan Издательство: SamsГод издания книги: 2011ISBN: 978-0-672-33552-5, 0-672-33552-2Страниц: 1152 Форм . . .

  • Журнал "Ремонт бытовой техники". Серия книг djvu 325,22Мб

    "Ремонт бытовой техники". Серия книг djvu 325,22Мб

    Название: Серия книг "Ремонт бытовой техники"Издательство: ОНИКСГод: 2010Формат: DjVuКоличество страниц: 1710Размер: 325.22 MbКачество: хорошееЯзык: русскийСерия книг "Ремонт бытовой техники" подойдёт . . .

  • Книга Серия: Коты-воители doc 8,16Мб

    Серия: Коты-воители doc 8,16Мб

    Автор:Эрин Хантер Название: Серия: Коты-воителиИздательство: Олма-ПрессГод: 2005Формат: docРазмер: 8,16МбВ серии "Коты-воители" раскрываются "секреты" племен лесных котов: их история, церемонии и трад . . .

  • Книга Проклятие крови rtf, fb2 5,56Мб

    Проклятие крови rtf, fb2 5,56Мб

    Название: Проклятие кровиАвтор: Таня ХаффСерия: Хроники кровиИздательство: Эксмо, ДоминоГод издания: 2005Страниц: 432ISBN: 5-699-13108-6Формат: RTF, FB2Размер: 5,56 МбВремя для него тянулось бесконечн . . .

  • Книга Константин Муравьёв. Неучтенный

    Константин Муравьёв. Неучтенный

    Молодой парень из небольшого уральского городка никак не ожидал, что его поездка на всероссийскую олимпиаду закончится через полвека в тёмной системе, не видящей света солнца миллионы лет, на обломках . . .

  • Книга Чароплёт fb2/chm/rtf 5,31Мб

    Чароплёт fb2/chm/rtf 5,31Мб

    Автор: Сергей ДавыдовНазвание: Чароплёт Издательство: Ленинградское издательствоГод: 2009Формат: fb2/chm/rtfРазмер: 5,31МbДля сайта: www.bankknig.netЗнаете фэнтези из разряда "наши там"? Ну так во . . .

  • Книга Серебрянный дракон 1,2,3. txt 1,5Мб

    Серебрянный дракон 1,2,3. txt 1,5Мб

    Название:Серебрянный дракон 1,2,3.Автор:Скачков В. М.Издательство:СамиздатГод:2006-2009Формат:txtРазмер:1.5МbЗакрытый мир...Как много в этих словах для настоящего ценителя фантастики..Драконы,гоблины, . . .

  • Книга Перси Джексон и Море чудовищ fb2, rtf 5Мб

    Перси Джексон и Море чудовищ fb2, rtf 5Мб

    Название: Перси Джексон и Море чудовищАвтор: Рик РиорданСерия: Перси Джексон и боги-олимпийцыНомер книги в серии: 2Издательство: Эксмо, ДоминоГод издания: 2009Страниц: 384ISBN: 978-5-699-35056-8Формат . . .

  • Книга Золотая библиотека фантастики. Собрание сочинений в 317 книгах fb2 114,2Мб

    Золотая библиотека фантастики. Собрание сочинений в 317 книгах fb2 114,2Мб

    Название: серия книг "Золотая бибилиотека фантастики"Издательство: АСТГод: 1999-2008Формат: fb2Размер: 114.2 MbСерия «Золотая библиотека фантастики» была основана в 1999 году. В ней планировалось изда . . .

Вы не зарегистрированы!

Если вы хотите скачивать книги, журналы и аудиокниги бесплатно, без рекламы и без смс, оставлять комментарии и отзывы, учавствовать в различных интересных мероприятиях, получать скидки в книжных магазинах и многое другое, то Вам необходимо зарегистрироваться в нашей Электронной Библиотеке.

Войти Регистрация

Отзывы читателей

Ой!

К сожалению, в нашей Бесплатной Библиотеке пока нет отзывов о Книге Быстрые термообработки в технологии СБИС. Помогите нам и другим читателям окунуться в сюжет Книги и узнать Ваше мнение. Оставьте свой отзыв или обзор сейчас, это займет у Вас всего-лишь несколько минут.