Название: Быстрые термообработки в технологии СБИС
Автор: Пилипенко В.А.
Издательство: Мн.: Изд. центр БГУ
Страниц: 531
Формат: PDF
Размер: 20.8 Мб
Качество: Нормальное
Язык: Русский
Год издания: 2004
ISBN: 985-476-251-3
В монографии рассмотрены физические процессы, вызывающие нагрев кремниевых пластин в результате их облучения импульсами когерентного и некогерентного света.
Приведены расчеты температурных полей и термических напряжений, возникающих в кремниевых пластинах при такой обработке, их влияние на параметры исходных кремниевых пластин и диэлектрических покрытий, а также даны характеристики основных видов оборудования, применяемого для БТО. Представлены результаты применения БТО в технологии СБИС, а именно для гетгерирования быстродиффундирующих примесей, очистки поверхности, формирования субмикронных зпитаксиальных слоев, отжига ионнолегированных слоев в моно- и поликристаллическом кремнии, планаризации поверхности, формирования силицидов, омических контактов. Кроме того, большое внимание уделяется моделированию и изучению параметров биполярных ИМС, сформированных с применением БТО. Предназначена для научных и инженерно-технических работников, занимающихся разработкой технологии создания СБИС с субмикронными размерами, а также преподавателей, студентов и аспирантов радиоэлеиронного профиля.
Рейтинг: | 4.8 баллов / 2537 оценок |
Формат: | Книга |
Уже скачали: | 12800 раз |
Нам показалось, что Книги ниже Вас заинтересуют не меньше. Эти издания Вы так же можете скачивать и читать совершенно бесплатно на сайте!
В справочнике приведены сведения о более 5000 тыс. зарубежных и отечественных полупроводниковых приборов (диодах, стабилитронах и стабисторах, диодах СВЧ, варикапах, тиристорах, светодиодах, оптронах, . . .
Название книги: 101 Windows Phone 7 Apps, Volume I: Developing Apps 1-50 Автор книги: Adam Nathan Издательство: SamsГод издания книги: 2011ISBN: 978-0-672-33552-5, 0-672-33552-2Страниц: 1152 Форм . . .
Название: Серия книг "Ремонт бытовой техники"Издательство: ОНИКСГод: 2010Формат: DjVuКоличество страниц: 1710Размер: 325.22 MbКачество: хорошееЯзык: русскийСерия книг "Ремонт бытовой техники" подойдёт . . .
Автор:Эрин Хантер Название: Серия: Коты-воителиИздательство: Олма-ПрессГод: 2005Формат: docРазмер: 8,16МбВ серии "Коты-воители" раскрываются "секреты" племен лесных котов: их история, церемонии и трад . . .
Название: Проклятие кровиАвтор: Таня ХаффСерия: Хроники кровиИздательство: Эксмо, ДоминоГод издания: 2005Страниц: 432ISBN: 5-699-13108-6Формат: RTF, FB2Размер: 5,56 МбВремя для него тянулось бесконечн . . .
Молодой парень из небольшого уральского городка никак не ожидал, что его поездка на всероссийскую олимпиаду закончится через полвека в тёмной системе, не видящей света солнца миллионы лет, на обломках . . .
Автор: Сергей ДавыдовНазвание: Чароплёт Издательство: Ленинградское издательствоГод: 2009Формат: fb2/chm/rtfРазмер: 5,31МbДля сайта: www.bankknig.netЗнаете фэнтези из разряда "наши там"? Ну так во . . .
Название:Серебрянный дракон 1,2,3.Автор:Скачков В. М.Издательство:СамиздатГод:2006-2009Формат:txtРазмер:1.5МbЗакрытый мир...Как много в этих словах для настоящего ценителя фантастики..Драконы,гоблины, . . .
Название: Перси Джексон и Море чудовищАвтор: Рик РиорданСерия: Перси Джексон и боги-олимпийцыНомер книги в серии: 2Издательство: Эксмо, ДоминоГод издания: 2009Страниц: 384ISBN: 978-5-699-35056-8Формат . . .
Название: серия книг "Золотая бибилиотека фантастики"Издательство: АСТГод: 1999-2008Формат: fb2Размер: 114.2 MbСерия «Золотая библиотека фантастики» была основана в 1999 году. В ней планировалось изда . . .
Если вы хотите скачивать книги, журналы и аудиокниги бесплатно, без рекламы и без смс, оставлять комментарии и отзывы, учавствовать в различных интересных мероприятиях, получать скидки в книжных магазинах и многое другое, то Вам необходимо зарегистрироваться в нашей Электронной Библиотеке.
К сожалению, в нашей Бесплатной Библиотеке пока нет отзывов о Книге Быстрые термообработки в технологии СБИС. Помогите нам и другим читателям окунуться в сюжет Книги и узнать Ваше мнение. Оставьте свой отзыв или обзор сейчас, это займет у Вас всего-лишь несколько минут.