Быстрые термообработки в технологии СБИС
Название: Быстрые термообработки в технологии СБИС
Автор: Пилипенко В.А.
Издательство: Мн.: Изд. центр БГУ
Страниц: 531
Формат: PDF
Размер: 20.8 Мб
Качество: Нормальное
Язык: Русский
Год издания: 2004
ISBN: 985-476-251-3
В монографии рассмотрены физические процессы, вызывающие нагрев кремниевых пластин в результате их облучения импульсами когерентного и некогерентного света.
Приведены расчеты температурных полей и термических напряжений, возникающих в кремниевых пластинах при такой обработке, их влияние на параметры исходных кремниевых пластин и диэлектрических покрытий, а также даны характеристики основных видов оборудования, применяемого для БТО. Представлены результаты применения БТО в технологии СБИС, а именно для гетгерирования быстродиффундирующих примесей, очистки поверхности, формирования субмикронных зпитаксиальных слоев, отжига ионнолегированных слоев в моно- и поликристаллическом кремнии, планаризации поверхности, формирования силицидов, омических контактов. Кроме того, большое внимание уделяется моделированию и изучению параметров биполярных ИМС, сформированных с применением БТО. Предназначена для научных и инженерно-технических работников, занимающихся разработкой технологии создания СБИС с субмикронными размерами, а также преподавателей, студентов и аспирантов радиоэлеиронного профиля.
| Рейтинг: | 4.8 баллов / 2537 оценок |
| Формат: | Книга |
| Уже скачали: | 12799 раз |
Похожие Книги
Нам показалось, что Книги ниже Вас заинтересуют не меньше. Эти издания Вы так же можете скачивать и читать совершенно бесплатно на сайте!
-
Кружевное плетение фриволите
Автор: А.Г. Вечерская Год издания: 1992 Формат: pdf Издат.: Лениздат Страниц: 32 Размер: 7,9 Мб ISBN: 5-289-01153-6 Язык: Русский Данное . . .
-
Свинсос Ингвалл - Том в горах (Аудиокнига)
Наверное, ни один кот в мире не переживал столько удивительных и опасных приключений, сколько выпало на долю Тома! Он родился на хуторе, в горах Норвегии, в семье крестьянина. Дети крестьянина, Пер и . . .
-
Самоучитель итальянского языка
Название: Самоучитель итальянского языкаАвтор: Рыжак Н.А., Рыжак Е.А.Издательство: АСТ, АстрельISBN: 978-5-17-022785-3Год издания: 2008 - 2-е издание, исправленноеЯзык: русский, итальянскийCтраниц: 55 . . .
-
Коньяк, виски, мартини, бейлис в домашних условиях pdf 1,9Мб
Название: Коньяк, виски, мартини, бейлис в домашних условияхАвтор: Юлия ЛужковскаяИздательство: ПитерГод: 2010Страниц: 96Язык: русскийФормат: pdfРазмер: 1.9 МбТак ли уж эксклюзивны загадочные бейлис, . . .
-
Халявные антивирусы и другие бесплатные программы из Интернета (2011) PDF, DjVu pdf, djvu 91,5Мб
Название: Халявные антивирусы и другие бесплатные программы из ИнтернетаИздательство: АСТ, Астрель, ПолиграфиздатАвтор: Халявин В.ISBN: 978-5-17-074204-2, 978-5-271-35693-4, 978-5-4215-2626-1Год: 2011 . . .
-
История археологической мысли в России. Вторая половина XIX - первая треть XX века
Название: История археологической мысли в России. Вторая половина XIX - первая треть XX векаАвтор: Платонова Н.И.Издательство: Нестор-История ISBN: 978-5-98187-619-6Год издания: 2010Язык: русскийCтран . . .
-
Книга о русском еврействе (1917-1967)
Название: Книга о русском еврействе (1917-1967)Автор: Фрумкин Я.Г., Яронсон Г.Я. (ред.)Издательство: Нью-Йорк - Союз русских евреевГод издания: 1968Язык: русскийCтраниц: 480Формат: PDFРазмер: 18 МБОпи . . .
-
Андрей Курпатов. Собрание сочинений в 26 книгах (2005 – 2009) PDF, RTF, DOC pdf, rtf, doc 67,6Мб
Название: Андрей Курпатов. Собрание сочинений в 26 книгахИздательство: Нева, Олма Медиа ГруппАвтор: Андрей КурпатовГод: 2005 – 2009Жанр: психологияФормат: pdf, rtf, docРазмер: 67,6 МбКачество: Сканиро . . .
-
Дракон вам в помощь!
Не стоит дракону влезать в разборки магов. Тем более если они его совершенно не касаются. Не следует магам игнорировать слуг. Тем более если эти слуги имеют доступ к секретам. Последствия в обоих случ . . .
-
Третейское судопроизводство в Российской Федерации: учебное пособие pdf 2,6Мб
Название: Третейское судопроизводство в Российской Федерации: учебное пособиеАвтор: А.Н. Балашов, А.И. Зайцев, Ю.А. ЗайцеваИздательство: ЮстицинформГод: 2008Страниц: 224Язык: русскийФормат: pdfРазмер: . . .
Вы не зарегистрированы!
Если вы хотите скачивать книги, журналы и аудиокниги бесплатно, без рекламы и без смс, оставлять комментарии и отзывы, учавствовать в различных интересных мероприятиях, получать скидки в книжных магазинах и многое другое, то Вам необходимо зарегистрироваться в нашей Электронной Библиотеке.
Отзывы читателей
Ой!
К сожалению, в нашей Бесплатной Библиотеке пока нет отзывов о Книге Быстрые термообработки в технологии СБИС. Помогите нам и другим читателям окунуться в сюжет Книги и узнать Ваше мнение. Оставьте свой отзыв или обзор сейчас, это займет у Вас всего-лишь несколько минут.