Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок


Книга Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок

Название: Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
Автор: Данилин Б.С.
Издательство: Энергоатомиздат
Год: 1989
Формат: DjVu
Язык: русский
Cтраниц: 327
Размер: 5 МБ
Показана роль тонкопленочной технологии в производстве интегральных схем. Анализируются основные факторы, определяющие процесс ионного распыления. Рассматривается осаждение пленок магнетронным, термоионным, ионно-кластерным и электронно-циклотронным методами, а также стимулированное плазмой осаждение пленок из газовой фазы при пониженном давлении. Показаны пути обеспечения вакуумно-технических параметров в установках для осаждения тонких пленок. Рассмотрены перспективы применения плазменных процессов в производстве интегральных схем. Для научных и инженерно-технических работников, использующих в своей практической работе осаждение пленок с помощью низкотемпературной плазмы. Может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов.
Скачать книгу Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
Скачать с Bitoman.ru
Скачать с Depositfiles.com
Скачать с Turbobit.net

Рейтинг: 4.8 баллов / 2537 оценок
Формат: Книга
Уже скачали: 12818 раз



Похожие Книги

Нам показалось, что Книги ниже Вас заинтересуют не меньше. Эти издания Вы так же можете скачивать и читать совершенно бесплатно на сайте!

  • Книга Журнал: Техника – молодежи №14 (2014)

    Журнал: Техника – молодежи №14 (2014)

    Журнал: Техника – молодежи №14 (2014)Техника молодежи - сенсации науки и техники, открытия, изобретения, патенты. История техники, футурология, фантастика, оружие, боевая техника. Компьютеры, самоделк . . .

  • Книга Журнал: Современное строительство и ремонт №1 (53) (2015)

    Журнал: Современное строительство и ремонт №1 (53) (2015)

    Журнал: Современное строительство и ремонт №1 (53) (2015)Журнал «Современное строительство и ремонт» представляет профессиональные практические советы по проведению ремонтно-отделочных работ широкого . . .

  • Книга Журнал: Сам №2 [Россия] (февраль 2015)

    Журнал: Сам №2 [Россия] (февраль 2015)

    Журнал: Сам №2 [Россия] (февраль 2015)Сам - журнал домашних мастеров: описания, схемы и чертежи самодельных станков и приспособлений, оригинальной мебели, теплиц и других конструкций. Советы по ремонт . . .

  • Книга Журнал: Дом №2 (февраль 2015)

    Журнал: Дом №2 (февраль 2015)

    Журнал: Дом №2 (февраль 2015)Журнал «Дом» - помощник для тех, кого интересуют практические вопросы, связанные со строительством, ремонтом и эксплуатацией индивидуального жилья – коттеджей, дачных и са . . .

  • Книга Церковь Покрова на Нерли

    Церковь Покрова на Нерли

    Название/Title: Церковь Покрова на Нерли, «белый лебедь» русской архитектуры.Размер/File Size: 3,36 MbВид/Archive Type: *.rarФормат/Original Format: 60х90Масштаб/Scale: Не указанМодель из бумаги!Форма . . .

  • Книга Газета: Разносолы зимой согреют №1 (Январь 2015)

    Газета: Разносолы зимой согреют №1 (Январь 2015)

    Газета: Разносолы зимой согреют №1 (Январь 2015)В издании рассказано о том, как правильно и вкусно поесть, приготовить вкусные продукты на зиму и получить массу хорошего настроения. Сливово-банановое . . .

  • Книга Газета: Золотая коллекция рецептов

    Газета: Золотая коллекция рецептов

    Газета: Золотая коллекция рецептов- Спецвыпуск №92 (август 2015)- Спецвыпуск №90 (август 2015)Отличное кулинарное издание, в котором вы как всегда найдете множество интересных и вкусных рецептов.#кули . . .

  • Книга Журнал: Оружие №14 (2014)

    Журнал: Оружие №14 (2014)

    Журнал: Оружие №14 (2014)Журнал Оружие адресован широкому кругу читателей, интересующихся стрелковым, охотничьим и холодным оружием. В каждом номере - достоверная и авторитетная информация о разработк . . .

  • Книга История корабля

    История корабля

    Название: История корабляАвтор: Дыгало В., Аверьянов М.Издательство: Изобразительное искусствоISBN: 5-85200-267-4Год издания: 1991Страниц: 64Язык: РусскийФормат: PDFКачество: хорошееРазмер: 6,1 МбИсто . . .

  • Книга Журналы: Автомир №7 [Россия] (февраль 2015)

    Журналы: Автомир №7 [Россия] (февраль 2015)

    Журналы: Автомир №7 [Россия] (февраль 2015)«Автомир» — первый еженедельный автомобильный журнал, который предоставляет самую разнообразную информацию из мира автомобилей: от репортажей с международных . . .


Вы не зарегистрированы!

Если вы хотите скачивать книги, журналы и аудиокниги бесплатно, без рекламы и без смс, оставлять комментарии и отзывы, учавствовать в различных интересных мероприятиях, получать скидки в книжных магазинах и многое другое, то Вам необходимо зарегистрироваться в нашей Электронной Библиотеке.

Отзывы читателей


Ой!

К сожалению, в нашей Бесплатной Библиотеке пока нет отзывов о Книге Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. Помогите нам и другим читателям окунуться в сюжет Книги и узнать Ваше мнение. Оставьте свой отзыв или обзор сейчас, это займет у Вас всего-лишь несколько минут.