Handbook of VLSI Microlithography, 2nd Edition, Second Edition
Название:Handbook of VLSI Microlithography, 2nd Edition, Second Edition
Автор:John N. Helbert
Издательство:William Andrew
ISBN:0815514441
Дата издания:2002-01-14
Страниц:1022
Язык:Английский
Формат:PDF
Размер: 12,5 mb
This handbook gives readers a close look at the entire technology of printing very high resolution and high density integrated circuit (IC) patterns into thin resist process transfer coatingsГѓВ№including optical lithography, electron beam, ion beam, and x-ray lithography. The book's main theme is the special printing process needed to achieve volume high density IC chip production, especially in the Dynamic Random Access Memory (DRAM) industry. The book leads off with a comparison of various lithography methods, covering the three major patterning parameters of line/space, resolution, line edge and pattern feature dimension control. The book's explanation of resist and resist process equipment technology may well be the first practical description of the relationship between the resist process and equipment parameters. The basics of resist technology are completely coveredГѓВ№including an entire chapter on resist process defectivity and the potential yield limiting effect on device production.
Each alternative lithographic technique and testing method is considered and evaluated: basic metrology including optical, scanning-electron-microscope (SEM) techniques and electrical test devices, along with explanations of actual printing tools and their design, construction and performance. The editor devotes an entire chapter to today's sophisticated, complex electron-beam printers, and to the emerging x-ray printing technology now used in high-density CMOS devices. Energetic ion particle printing is a controllable, steerable technology that does not rely on resist, and occupies a final section of the handbook.
Скачать с DEPOSITFILES
Скачать с FILESONIC
Скачать с UPLOADING
| Рейтинг: | 4.8 баллов / 2537 оценок |
| Формат: | Книга |
| Уже скачали: | 12739 раз |
Похожие Книги
Нам показалось, что Книги ниже Вас заинтересуют не меньше. Эти издания Вы так же можете скачивать и читать совершенно бесплатно на сайте!
-
Над чем думают физики: выпуск 3. Элементарные частицы
Автор: Медведев Б. В. (ред.) Название: Над чем думают физики: выпуск 3. Элементарные частицыИздательство: НаукаГод: 1965Страниц: 140Формат: DJVUРазмер: 7 МБКачество: Хорошее, 600дпи, цветные обложки . . .
-
Подборка книг по разработке и конструкции антенн | 1989-2005 | RUS | PDF, DJVU
Данная подборка книг предназначена для радиолюбителей, желающих расширить свои знания в области построения и практического использования антенных устройств. Здесь можно найти описания антенн различных . . .
-
Зарядка на ходу. Тренировки в любое время
Название: Зарядка на ходу. Тренировки в любое времяАвтор: Маргулис И.(перевод.)Издательство: ТЕРРА - Книжный клубГод выпуска: 1998ISBN: 5-300-01810-4Серия: Здоровый образ жизниСтраниц: 146Формат: pdfР . . .
-
Танки XXI века.
Минувшее столетие не зря окрестили "веком танков" - Великая танковая революция навсегда изменила облик современной войны. "Но что такое танк XXI века? Большинство бронетехники, состоящей сегодня на во . . .
-
Ручная и механизированная притирка-доводка
Наглядно показаны ручные методы доводки и притирки, осуществляемые абразивными порошками и пастами, наносимыми на специальные инструменты - притиры или на сопрягаемые поверхности деталей.Показаны меха . . .
-
Обработка инструментальных материалов. Справочник
В справочнике приведены данные об инструментальных материалах и технологических процессах их ковки, сварки, наплавки, пайки, термической, химико-термической обработки. Описаны используемые при этих пр . . .
-
Машины и агрегаты металлургических заводов (в 3-х томах)
Название: Машины и агрегаты металлургических заводов (в 3-х томах)Автор: Целиков А.И. и др.Издательство: МеталлургияГод издания: 1987-1988Язык: русскийCтраниц: 1600Формат: DjVu+PDFРазмер: 36 МБ (все т . . .
-
Дональд Д. - Военные винтовые самолеты
Название: Военные винтовые самолетыАвтор: Дональд Д.Издательство: ОмегаГод: 2002Страниц: 112ISBN: 0-7858-1023-4, 5-93209-555-5Язык: русскийФормат: программа для djvuКачество: хорошееРазмер: 12,1 МбКни . . .
-
Лабораторный практикум по технической эксплуатации автомобилей
В учебном пособии изложены методические указания к выполнению лабораторных работ по диагностике автомобиля, техническому обслуживанию его агрегатов и систем. Даны рекомендации по использованию стендов . . .
-
О поэтическом мире Высоцкого
Название: О поэтическом мире ВысоцкогоАвтор: Доманский Ю.В.Издательство: СФК-офисГод выпуска: 2011Страниц: 86Формат: pdfРазмер: 8.87МбКачество: нормальноеЯзык: русскийВ монографии рассматривается поэз . . .
Вы не зарегистрированы!
Если вы хотите скачивать книги, журналы и аудиокниги бесплатно, без рекламы и без смс, оставлять комментарии и отзывы, учавствовать в различных интересных мероприятиях, получать скидки в книжных магазинах и многое другое, то Вам необходимо зарегистрироваться в нашей Электронной Библиотеке.
Отзывы читателей
Ой!
К сожалению, в нашей Бесплатной Библиотеке пока нет отзывов о Книге Handbook of VLSI Microlithography, 2nd Edition, Second Edition. Помогите нам и другим читателям окунуться в сюжет Книги и узнать Ваше мнение. Оставьте свой отзыв или обзор сейчас, это займет у Вас всего-лишь несколько минут.