Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок
В книге обобщено современное состояние одной из отраслей производства изделий электронной техники: вакуумной технологии нанесения и травления тонких пленок. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок, плазмохимических установок для травления тонких пленок и технологических особенностей их использования. Описаны математические модели, способы управления и примеры использования реактивного магнетронного напыления, принципы построения и применения среднечастотных источников питания для реактивного магнетронного напыления. Приведены теоретические основы и физические принципы конструирования нового типа источника высокочастотного разряда низкого давления для ионного или плазмохимического травления тонких пленок и/или их стимулированного плазмой осаждения.
Книга рассчитана на специалистов научно-исследовательских лабораторий, конструкторских бюро и производственных подразделений предприятий, занимающихся разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и оборудования для их производства.
Авторы: Берлин Е.В., Двинин С.А., Сейдман Л.А.
Издательство: Техносфера
Серия: Мир материалов и технологий
Год издания: 2007
Страниц: 176
ISBN: 978-5-94836-134-5
Формат: программа для djvu
Размер: 1,5 Мб
Качество: хорошее
| Рейтинг: | 4.8 баллов / 2537 оценок |
| Формат: | Книга |
| Уже скачали: | 12843 раз |
Похожие Книги
Нам показалось, что Книги ниже Вас заинтересуют не меньше. Эти издания Вы так же можете скачивать и читать совершенно бесплатно на сайте!
-
Мастерская. Строим дом. Архив 2008
Составитель: И.С. Задвинская Издательство: APT Престиж Год издания: 2008 Страниц: много Язык: русский Формат: ISO, NRG, MDF Размер: 299.6 Мб Практическое руководство – справочник по строите . . .
-
Хочу все знать. Аудиоэнциклопедия. 22 выпуска (аудиокнига)
коллектив Издательство: Союз Год издания: 2011 Язык: русский Формат: MP3, WMA Размер: 1,73Gb В каждом выпуске вас ждут невероятные версии и удивительные факты, события, явления, которые прои . . .
-
Призрачные миражи. Подборка произведений о Диптауне
Константин Рогов, Валентин Холмогоров Издательство: АСТ Год издания: 2002 Страниц: много ISBN: 5-17-012644-1 Язык: русский Формат: RTF Размер: 1.68 mb Оборотень. Константин Рогов Сумерки. . . .
-
Жизнь и смерть на Восточном фронте в 43 томах.
Название: Жизнь и смерть на Восточном фронте в 43 томах Автор: Разные Год издания: 2008-2012 Язык: Русский Формат: FB2, PDF, DJVU Размер: 272.85 Мб Описание: Жизнь и смерть на Восточном фронте - сери . . .
-
Приятное и уединенное место (аудиокнига)
Приятное и уединенное место Издательство: Нигде не купишь Год издания: 2010 Страниц: много Язык: русский Формат: MP3, WMA Размер: 272 Мб Битрейт аудио: 96 kbps Исполнитель: Леонтина Броцкая . . .
-
Десятки идей. Спецвыпуск (Май 2013). Плетёные украшения.
Название: Десятки идей. Спецвыпуск (Май 2013). Плетёные украшения Автор: коллектив Издательство: Газетный мир Год издания: 2013 Страниц: 36 Язык: Русский Формат: jpg Качество: отличное Размер: 24 Мб . . .
-
Moda pet Trico & Croche Ano 1 №1
Страниц: 32 Язык: другой Формат: JPG Размер: 10.71 Мб Журнал по вязанию для собак небольших размеров. depositfiles.com ifolder.ru . . .
-
Русско-чешский словарь
Влчек Й. Издательство: Русский язык Год издания: 1974 Страниц: 896 Язык: русский Формат: DJVU Размер: 20 Мб Словарь содержит 40 000 слов современного русского литературного языка и значител . . .
-
Ирландия: История страны
Питер Невилл Издательство: М. : Эксмо; СПб. : Мидгард Год издания: 2009 Страниц: 352 ISBN: 978-5-699-33804-7 Язык: русский Формат: DJVU Размер: 7,2 Мб Размеры Зеленого острова, олицетворен . . .
-
Тайны хлеба
Л.С. Микулович, Е.В. Дубовик Издательство: Мн.: Урожай Год издания: 1993 Страниц: 256 ISBN: 5-7860-0607-7 Язык: русский Формат: PDF Размер: 59,87 Мб В книге рассказано о тайнах хлеба, о вы . . .
Вы не зарегистрированы!
Если вы хотите скачивать книги, журналы и аудиокниги бесплатно, без рекламы и без смс, оставлять комментарии и отзывы, учавствовать в различных интересных мероприятиях, получать скидки в книжных магазинах и многое другое, то Вам необходимо зарегистрироваться в нашей Электронной Библиотеке.
Отзывы читателей
Ой!
К сожалению, в нашей Бесплатной Библиотеке пока нет отзывов о Книге Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок. Помогите нам и другим читателям окунуться в сюжет Книги и узнать Ваше мнение. Оставьте свой отзыв или обзор сейчас, это займет у Вас всего-лишь несколько минут.