В книге обобщено современное состояние одной из отраслей производства изделий электронной техники: вакуумной технологии нанесения и травления тонких пленок. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок, плазмохимических установок для травления тонких пленок и технологических особенностей их использования. Описаны математические модели, способы управления и примеры использования реактивного магнетронного напыления, принципы построения и применения среднечастотных источников питания для реактивного магнетронного напыления. Приведены теоретические основы и физические принципы конструирования нового типа источника высокочастотного разряда низкого давления для ионного или плазмохимического травления тонких пленок и/или их стимулированного плазмой осаждения.
Книга рассчитана на специалистов научно-исследовательских лабораторий, конструкторских бюро и производственных подразделений предприятий, занимающихся разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и оборудования для их производства.
Авторы: Берлин Е.В., Двинин С.А., Сейдман Л.А.
Издательство: Техносфера
Серия: Мир материалов и технологий
Год издания: 2007
Страниц: 176
ISBN: 978-5-94836-134-5
Формат: программа для djvu
Размер: 1,5 Мб
Качество: хорошее
Скачать с Depositfiles
Скачать с LetitBit
Рейтинг: | 4.8 баллов / 2537 оценок |
Формат: | Книга |
Уже скачали: | 12772 раз |
Нам показалось, что Книги ниже Вас заинтересуют не меньше. Эти издания Вы так же можете скачивать и читать совершенно бесплатно на сайте!
Красочное издание "Middle East Architect" публикуется для архитекторов и дизайнеров интерьеров, публикует последние новости, обзоры по архитектуре, фотографии интересных архитектурных и интерьерных ре . . .
Данный выпуск познакомит вас с немецким многоцелевым поплавковым самолетом Арадо Ar 196 (Arado Ar 196), широко применявшимся в годы Второй мировой войны. Приложение к журналу "Моделист-конструктор".На . . .
Название: Богатырь Ляйне. Саамские сказкиАвтор: Панкратов С.А. по записи Юрьева П.ПХудожник: Ковалев Н.Н.Издательство: Мурманское кн. из-воГод выпуска: 1971Страниц: 40Формат: djvuРазмер: 5.65МбКачеств . . .
Информация о фильмеНазвание: Растим мышцы живота (2012) SATRipРазработчик: Василий Ульянов Год выпуска: 2012Жанр: Обучающее видеоЯзык: русский О фильме: Уникальная методика тренировок, которая зас . . .
Based on a cognitive skills approach, these student-centered reading skills texts help students go beyond rote learning to develop the solid reading skills good readers take for granted.You'll find th . . .
Широко известный журнал для женщин "Vogue" всецело отдан моде, служит источником вдохновения и советчиком по созданию образа. Вернисажи, новости моды и красоты, последние течения в косметике и украшен . . .
«Звездное небо» является как практическим путеводителем по ночному небу, так и захватывающим рассказом о связанных с ним мифах и символах, обращенным и к ученому, и к романтику, живущим в каждом из на . . .
В центре города Вильнюса ровно сто восемь улиц. И если ходить по ним достаточно долго, то есть почти каждый день на протяжении нескольких лет, на некоторых улицах можно стать свидетелем удивит . . .
GEM Корейско-русский словарь. Содержит библиографические источники. Автор: Tŏk-su Kang / 강덕수 Название: GEM Korean-Russian DictionaryИздательство: Sŏul: Chinmyŏng . . .
Белорусские народные сказки для детей дошкольного возраста. В книгу входят сказки: Козел-борода, Лиса и тетерев, Медведь и комары и другие сказки.Название: Лиса и тетерев. Белорусские сказкиАвтор: пер . . .
Если вы хотите скачивать книги, журналы и аудиокниги бесплатно, без рекламы и без смс, оставлять комментарии и отзывы, учавствовать в различных интересных мероприятиях, получать скидки в книжных магазинах и многое другое, то Вам необходимо зарегистрироваться в нашей Электронной Библиотеке.
К сожалению, в нашей Бесплатной Библиотеке пока нет отзывов о Книге Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок. Помогите нам и другим читателям окунуться в сюжет Книги и узнать Ваше мнение. Оставьте свой отзыв или обзор сейчас, это займет у Вас всего-лишь несколько минут.