В книге обобщено современное состояние одной из отраслей производства изделий электронной техники: вакуумной технологии нанесения и травления тонких пленок. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок, плазмохимических установок для травления тонких пленок и технологических особенностей их использования. Описаны математические модели, способы управления и примеры использования реактивного магнетронного напыления, принципы построения и применения среднечастотных источников питания для реактивного магнетронного напыления. Приведены теоретические основы и физические принципы конструирования нового типа источника высокочастотного разряда низкого давления для ионного или плазмохимического травления тонких пленок и/или их стимулированного плазмой осаждения.
Книга рассчитана на специалистов научно-исследовательских лабораторий, конструкторских бюро и производственных подразделений предприятий, занимающихся разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и оборудования для их производства.
Авторы: Берлин Е.В., Двинин С.А., Сейдман Л.А.
Издательство: Техносфера
Серия: Мир материалов и технологий
Год издания: 2007
Страниц: 176
ISBN: 978-5-94836-134-5
Формат: программа для djvu
Размер: 1,5 Мб
Качество: хорошее
Скачать с Depositfiles
Скачать с LetitBit
Рейтинг: | 4.8 баллов / 2537 оценок |
Формат: | Книга |
Уже скачали: | 12766 раз |
Нам показалось, что Книги ниже Вас заинтересуют не меньше. Эти издания Вы так же можете скачивать и читать совершенно бесплатно на сайте!
Информация о видеоНазвание: Таблицы для проверки зрения и для упражненийГод выхода: 2014Жанр: ВидеознаниеПродолжительность: около 8 минВ видео-касте рассказывается какие существуют таблицы, как их и . . .
Название: Затворник. Почти реальная историяАвтор: Кузнецов Сергей БорисовичСтраниц: 352Издательство: АСТ, Астрель, ПолиграфиздатГод: 2012Формат: fb2,epub,pdf,rtf,txtКачество: отличноеРазмер файла: 9.3 . . .
Книга по вязанию крючком. Эта книга поможет научить детей вязанию крючком. В ней представлено 35 не сложных, ярких и интересных проектов, созданных специально для детей и расположенных от простых к . . .
Название: Vісtοrіа Ζdrοk Издательство: DіgіtalDεsіrε Месяц / Год: 2012-05-06 Страниц: 47 Формат: -jpeg Размер файла: 26.1 Мб . . .
Информация о фильме:Название: Видеоруководство "Учимся на дельфина"Страна: РоссияТематика: Учебные материалы по материнствуТип материала: ВидеоурокПродолжительность: 00:15:00Год выпуска: 2013Язык: Р . . .
Книга заслуженного деятеля науки РСФСР, профессора В. Я. Доброхотова посвящена важнейшему вопросу идеологической работы. Показана роль В. И. Ленина в разработке принципов партийной пропаганды, . . .
Название: Scooby-Doo! Великие тайны мира № 09Издательство: ООО "деАгостини"Год выпуска: 2012Страниц: 22Формат: pdfРазмер: 20.7 mb Язык: русский«Scooby-Doo! Великие тайны мира» — новый увлекательный . . .
Информация о фильме:Название: Система Кадочникова: Работа на лестнице Страна: РоссияТематика: Русский стильТип материала: ВидеоурокПродолжительность: 00:35:44Год выпуска: 2013Язык: РусскийПеревод: Н . . .
Название: Реабилитация после оперативных вмешательствАвтор: Галина ПанинаИздательство: Научная книгаГод: 2013Страниц: 140Язык: русскийФормат: pdfРазмер: 5.6 МбВ этой книге вы найдете описание наиболее . . .
Захватывающе интересные и мастерски построенные произведения Злотникова с необычной фабулой и острыми психологическими конфликтами — это "Э. К. С. П. А. Н. С. И. Я. "Список книг: Показать / Ск . . .
Если вы хотите скачивать книги, журналы и аудиокниги бесплатно, без рекламы и без смс, оставлять комментарии и отзывы, учавствовать в различных интересных мероприятиях, получать скидки в книжных магазинах и многое другое, то Вам необходимо зарегистрироваться в нашей Электронной Библиотеке.
К сожалению, в нашей Бесплатной Библиотеке пока нет отзывов о Книге Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок. Помогите нам и другим читателям окунуться в сюжет Книги и узнать Ваше мнение. Оставьте свой отзыв или обзор сейчас, это займет у Вас всего-лишь несколько минут.