Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок
В книге обобщено современное состояние одной из отраслей производства изделий электронной техники: вакуумной технологии нанесения и травления тонких пленок. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок, плазмохимических установок для травления тонких пленок и технологических особенностей их использования. Описаны математические модели, способы управления и примеры использования реактивного магнетронного напыления, принципы построения и применения среднечастотных источников питания для реактивного магнетронного напыления. Приведены теоретические основы и физические принципы конструирования нового типа источника высокочастотного разряда низкого давления для ионного или плазмохимического травления тонких пленок и/или их стимулированного плазмой осаждения.
Книга рассчитана на специалистов научно-исследовательских лабораторий, конструкторских бюро и производственных подразделений предприятий, занимающихся разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и оборудования для их производства.
Авторы: Берлин Е.В., Двинин С.А., Сейдман Л.А.
Издательство: Техносфера
Серия: Мир материалов и технологий
Год издания: 2007
Страниц: 176
ISBN: 978-5-94836-134-5
Формат: программа для djvu
Размер: 1,5 Мб
Качество: хорошее
Скачать с Depositfiles
Скачать с LetitBit
| Рейтинг: | 4.8 баллов / 2537 оценок |
| Формат: | Книга |
| Уже скачали: | 12773 раз |
Похожие Книги
Нам показалось, что Книги ниже Вас заинтересуют не меньше. Эти издания Вы так же можете скачивать и читать совершенно бесплатно на сайте!
-
Fine Homebuilding. Build A Shed (Summer 2014)
Название: Fine Homebuilding. Build A Shed (Summer 2014) Автор: коллектив Издательство: Taunton Press Год издания: 2014 Страниц: 148 Язык: Английский Формат: pdf Качество: хорошее Размер: 20,04 Мб Оп . . .
-
Sandra - Вышивка. Сандра - Экстра №5 2014
Название: Sandra - Вышивка. Сандра - Экстра №5 2014 Автор: коллектив Издательство: ЗАО "ИМПОСТ" Год издания: 2014 Страниц: 16 Язык: Русский Формат: jpg Качество: отличное Размер: 25 Мб Описание: В ж . . .
-
Plaisir de broder Point de Croix №13 2011
Название: Plaisir de broder Point de Croix №13 2011 Автор: коллектив Серия или выпуск: 13 Издательство: E.S.I. (Editions) Год издания: 2011 Страниц: 76 Язык: Французский Формат: jpg Качество: отличн . . .
-
Криминальная Россия. Адский телефон (Аудиокнига)
Название: Криминальная Россия. Адский телефон Автор: Сергей Полянский Издательство: Нигде не купишь Год издания: 1995-2011 Язык: Русский Формат: mp3 Битрейт аудио: 192 kpbs Время звучания: 00:51:52 . . .
-
Munecos para el hogar No.14
Название: Munecos para el hogar No.14 Автор: коллектив Издательство: Artemanual Ediciones Страниц: 71 Язык: Испанский Формат: jpg Качество: отличное Размер: 20 Мб Описание: Журнал по шитью игрушек с . . .
-
Вышивка. Вязание №5-6 2007
Название: Вышивка. Вязание №5-6 2007 Автор: коллектив Издательство: ЧП "Детская литература" Год издания: 2014 Страниц: 33 Язык: Русский Формат: jpg Качество: отличное Размер: 76,1 Мб Описание: Журна . . .
-
Криминальная Россия. Весенний марафон (Аудиокнига)
Название: Криминальная Россия. Весенний марафон Автор: Сергей Полянский Издательство: Нигде не купишь Год издания: 1995-2011 Язык: Русский Формат: mp3 Битрейт аудио: 192 kpbs Время звучания: 00:51:5 . . .
-
Вышиваю крестиком №6(120) 2014
Название: Вышиваю крестиком №6(120) 2014 Автор: коллектив Серия или выпуск: 6 Издательство: Гейм Лэнд Год издания: 2014 Страниц: 60 Язык: Русский Формат: jpg Качество: отличное Размер: 81 Мб Описани . . .
-
Анаис (Аудиокнига)
Название: Анаис (Аудиокнига) Автор: Лене Паскаль Издательство: Нигде не купишь Год издания: 2014 Язык: Русский Формат: MP3 Битрейт аудио: 96 Kbit/s, 44000 Гц, Mono Время звучания: 04:28:48 Читает: Д . . .
-
Moje Dekoracje №1 2014
Название: Moje Dekoracje №1 2014 Автор: коллектив Год издания: 2014 Страниц: 38 Язык: Польский Формат: PDF Качество: отличное Размер: 69,76 Мб Описание: "Moje Dekoracje" - популярный польский журнал . . .
Вы не зарегистрированы!
Если вы хотите скачивать книги, журналы и аудиокниги бесплатно, без рекламы и без смс, оставлять комментарии и отзывы, учавствовать в различных интересных мероприятиях, получать скидки в книжных магазинах и многое другое, то Вам необходимо зарегистрироваться в нашей Электронной Библиотеке.
Отзывы читателей
Ой!
К сожалению, в нашей Бесплатной Библиотеке пока нет отзывов о Книге Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок. Помогите нам и другим читателям окунуться в сюжет Книги и узнать Ваше мнение. Оставьте свой отзыв или обзор сейчас, это займет у Вас всего-лишь несколько минут.