Технология интегральной электроники
Название: Технология интегральной электроники
Автор: Ануфриев Л.П., Бордусов С.В.
Издательство: Минск: "Интегралполиграф"
Год: 2009
Страниц: 379
Формат: PDF
Размер: 8 Мб
Язык: русский
Учебное пособие включает базовые технологические процессы и оборудование для производства изделий интегральной электроники. Предназначено для закрепления и углубления теоретических знаний, ознакомления с современными технологическими процессами и автоматизированным технологическим оборудованием для изготовления изделий интегральной электроники.
ОГЛАВЛЕНИЕ
Показать / Скрыть текст
Основные материалы изделий интегральной электроники
Фазовые диаграммы и твердые растворы
Основные двойные диаграммы состояния широко используемых материалов в
изделиях интегральной электроники
Твердая растворимость
Диаграммы состояния тройных систем
Основные понятия и определения
Основные типы структур интегральных микросхем
Процесс изготовления биполярных ИМС
Процесс изготовления КМОП ИМС
Технологический маршрут изготовления мощных диодов Шоттки
Технологический маршрут изготовления мощных MOSFET-транзисторов
Технологический маршрут изготовления мощных тиристоров
Основные характеристики полупроводниковых подложек
Физико-химические особенности подготовки гладких поверхностей подложек
Разновидности загрязнений и их влияние на технологические характеристики
полупроводниковых подложек, источники и механизмы загрязнения поверхности
подложек
Процессы удаления загрязнений с поверхности твердых тел
Чистые производственные помещения
Контроль дефектности технологического процесса
Классификация типов обработки поверхности
Кинетика процесса химического травления
Механизмы травления полупроводников
Особенности жидкостного травления полупроводников и полупроводниковых
соединений
Особенности жидкостного травления функциональных слоёв
Электрохимическая обработка поверхности
Парогазовое травление
Классификация процессов ионно-плазменного травления
Механизмы процессов ионно-плазменного травления
Методы плазменного травления
Факторы, определяющие технологические параметры процесса плазменного
травления
Эпитаксиальные процессы
Кинетика и механизмы процессов эпитаксии
Автоэпитаксия кремния
Гетероэпитаксия кремния
Эпитаксия соединений типа A3B5 и твердых растворов на их основе
Дефекты эпитаксиальных слоев
Стабилизация и защита поверхности ИМС и полупроводниковых приборов
Процессы окисления и свойства диэлектрических слоев
Формирование тонких слоев методами химического осаждения из газовой фазы
Формирование тонких слоев низкотемпературным плазмохимическим осаждением из
газовой фазы
Атомно-слоeвое осаждение (ALD)
Пленки, получаемые центрифугованием из растворов из кремнийорганических
соединений (НЦР – пленки)
Термическое испарение материалов в вакууме
Краткая характеристика испарителей
Индукционные испарители
Электронно-лучевое испарение
Метод ионного распыления
Катодное распыление
Магнетронное распыление
Лазерно-плазменное распыление
Вакуумное оборудование для формирования пленок
Установки лазерного распыления
Процессы в фоторезистах
Фотошаблоны
Методы литографии
Методы повышения качества формирования изображения
Метод самосовмещения
Основы диффузионной технологии
Легирующие примеси и источники диффузии
Технология проведения процессов диффузии
Контроль параметров диффузионных слоев
Ионная имплантация
Геттерирование
Эффекты, используемые в технологии СБИС
Дефекты ионного легирования и способы их устранения
Отжиг легированных структур
Диффузия
Одномерное уравнение Фика
Постоянные коэффициенты диффузии
Механизмы диффузии в твердом теле
Диффузия из бесконечного источника
Диффузия из ограниченного источника
Концентрационно-зависимые коэффициенты диффузии
Атомные механизмы диффузии
Факторы, влияющие на процессы диффузии
Способы контроля процессов диффузии
Типы интегральных микросхем
Корпуса ИМС и их конструкции
Требования к конструкции корпусов
Металлокерамические корпуса
Металлостеклянные корпуса
Пластмассовые корпуса
Корпуса чашечного типа
Разделение пластин на кристаллы
Монтаж кристаллов в корпусах эвтектическими припоями и клеями
Монтаж кристаллов в корпусах легкоплавкими припоями
Автоматизированный монтаж кристаллов в корпусах вибрационной пайкой
Контроль качества сборочных операций
Проволочный микромонтаж изделий интегральной электроники
Процессы термокомпрессионной микросварки
Ультразвуковая и термозвуковая микросварка
Автоматическое оборудование и инструмент
Монтаж жесткими объемными выводами
Монтаж кристаллов на плате
Герметизация корпусов сваркой
Герметизация корпусов пайкой
Герметизация пластмассами
Бескорпусная герметизация
Контроль герметичности
Основные причины снижения влагоустойчивости приборов
Качество и надежность приборов электронной техники
Конструктивно–технологические особенности ИС, влияющие на их надежность
Статистические методы управления качеством в производстве интегральных
микросхем
Система контроля технологического процесса
Скачать с startfiles.org
Скачать с file-space.org
Скачать с depositfiles.com
Скачать с turbobit.net
Скачать с borncash.org
| Рейтинг: | 4.8 баллов / 2537 оценок |
| Формат: | Книга |
| Уже скачали: | 12800 раз |
Похожие Книги
Нам показалось, что Книги ниже Вас заинтересуют не меньше. Эти издания Вы так же можете скачивать и читать совершенно бесплатно на сайте!
-
Журнал: Журнал сетевых решений LAN №12 (216) (декабрь 2014)
Журнал: Журнал сетевых решений LAN №12 (216) (декабрь 2014)Издание для специалистов по проектированию, установке, эксплуатации и модернизации информационных систем о компьютерных сетях, системах перед . . .
-
Игры и упражнения на сложение и вычитание в пределах 10
Название: Игры и упражнения на сложение и вычитание в пределах 10.Автор: Козлова В.АИздательство: Школьная прессаСерия: Готов ли ребенок к школе?Страниц: 35Формат: DJVUРазмер: 11,45 мбГод: 2006В книге . . .
-
Обезьянка Чита. Сложение и вычитание чисел в пределах сотни. 2 класс. Рабочая тетрадь
Название: Обезьянка Чита. Сложение и вычитание чисел в пределах сотни. 2 классАвтор: Беденко Марк ВасильевичИздательство: 5 за знанияСерия: Математика с улыбкойЖанр: Справочники и сборники задач по ма . . .
-
Журналы: Автомир №52 [Россия] (декабрь 2014)
Журналы: Автомир №52 [Россия] (декабрь 2014)«Автомир» — первый еженедельный автомобильный журнал, который предоставляет самую разнообразную информацию из мира автомобилей: от репортажей с международн . . .
-
Гражданский процессуальный кодекс Российской Федерации Текст с изм. и доп. на 10 мая 2009
Название: Гражданский процессуальный кодекс Российской Федерации Текст с изм. и доп. на 10 мая 2009 годаАвтор: Коллектив АвторовГод издания: 2009Страниц: 380Язык: РусскийФормат: fb2Размер: 1.08 МбОпис . . .
-
Отважное сердце
Название:Отважное сердце Автор:Югов А.К. Издательство:Западно-Сибирское книжное издательствоГод:1983 Страниц:96 Формат:DJVU Размер:1.2MbИсторическая повесть о событиях, происходивших на Руси в XIII ве . . .
-
Тесты для детей 4 лет
Автор: Е.В. КолесниковаНазвание: Тесты для детей 4 лет Издательство: ЮвентаГод: 2005Формат: djvuРазмер: 7.5 MbОсновное назначение книги - предоставить систему учебно-игровых заданий детям, которым исп . . .
-
Журнал: PC Magazine №12 (282) [Россия] (декабрь 2014)
Журнал: PC Magazine №12 (282) [Россия] (декабрь 2014)PC Magazine является одним из известнейших и авторитетнейших журналов в мире. Оценки этого международного бренда уважаются всеми производителями ап . . .
-
Сказки В. Сутеева
Автор: В. СутеевНазвание: СказкиИздательство: Планета детстваГод: 2002Формат: djvuРазмер: 4.7 MbОх уж эти сказки! Ох уж эти сказочники! Возьмешь в руки книжку, а в ней столько сказок и веселых рассказ . . .
-
Сказки для детей (диафильмы)
Дорогие любители мультипликационных фильмов! Добро пожаловать в волшебную страну Мульти-Пульти!Уж кто-кто, а вы-то знаете, что такая страна существует. И пусть даже самый примерный отличник не сможет . . .
![Книга Журналы: Автомир №52 [Россия] (декабрь 2014)](http://img-fotki.yandex.ru/get/5205/302919728.5c6/0_146520_783ffdb4_orig "Книга Журналы: Автомир №52 [Россия] (декабрь 2014)")
![Книга Журнал: PC Magazine №12 (282) [Россия] (декабрь 2014)](http://img-fotki.yandex.ru/get/4417/302919728.5c6/0_146521_89d6405b_orig "Книга Журнал: PC Magazine №12 (282) [Россия] (декабрь 2014)")
Вы не зарегистрированы!
Если вы хотите скачивать книги, журналы и аудиокниги бесплатно, без рекламы и без смс, оставлять комментарии и отзывы, учавствовать в различных интересных мероприятиях, получать скидки в книжных магазинах и многое другое, то Вам необходимо зарегистрироваться в нашей Электронной Библиотеке.
Отзывы читателей
Ой!
К сожалению, в нашей Бесплатной Библиотеке пока нет отзывов о Книге Технология интегральной электроники. Помогите нам и другим читателям окунуться в сюжет Книги и узнать Ваше мнение. Оставьте свой отзыв или обзор сейчас, это займет у Вас всего-лишь несколько минут.