Технология интегральной электроники
Название: Технология интегральной электроники
Автор: Ануфриев Л.П., Бордусов С.В.
Издательство: Минск: "Интегралполиграф"
Год: 2009
Страниц: 379
Формат: PDF
Размер: 8 Мб
Язык: русский
Учебное пособие включает базовые технологические процессы и оборудование для производства изделий интегральной электроники. Предназначено для закрепления и углубления теоретических знаний, ознакомления с современными технологическими процессами и автоматизированным технологическим оборудованием для изготовления изделий интегральной электроники.
ОГЛАВЛЕНИЕ
Показать / Скрыть текст
Основные материалы изделий интегральной электроники
Фазовые диаграммы и твердые растворы
Основные двойные диаграммы состояния широко используемых материалов в
изделиях интегральной электроники
Твердая растворимость
Диаграммы состояния тройных систем
Основные понятия и определения
Основные типы структур интегральных микросхем
Процесс изготовления биполярных ИМС
Процесс изготовления КМОП ИМС
Технологический маршрут изготовления мощных диодов Шоттки
Технологический маршрут изготовления мощных MOSFET-транзисторов
Технологический маршрут изготовления мощных тиристоров
Основные характеристики полупроводниковых подложек
Физико-химические особенности подготовки гладких поверхностей подложек
Разновидности загрязнений и их влияние на технологические характеристики
полупроводниковых подложек, источники и механизмы загрязнения поверхности
подложек
Процессы удаления загрязнений с поверхности твердых тел
Чистые производственные помещения
Контроль дефектности технологического процесса
Классификация типов обработки поверхности
Кинетика процесса химического травления
Механизмы травления полупроводников
Особенности жидкостного травления полупроводников и полупроводниковых
соединений
Особенности жидкостного травления функциональных слоёв
Электрохимическая обработка поверхности
Парогазовое травление
Классификация процессов ионно-плазменного травления
Механизмы процессов ионно-плазменного травления
Методы плазменного травления
Факторы, определяющие технологические параметры процесса плазменного
травления
Эпитаксиальные процессы
Кинетика и механизмы процессов эпитаксии
Автоэпитаксия кремния
Гетероэпитаксия кремния
Эпитаксия соединений типа A3B5 и твердых растворов на их основе
Дефекты эпитаксиальных слоев
Стабилизация и защита поверхности ИМС и полупроводниковых приборов
Процессы окисления и свойства диэлектрических слоев
Формирование тонких слоев методами химического осаждения из газовой фазы
Формирование тонких слоев низкотемпературным плазмохимическим осаждением из
газовой фазы
Атомно-слоeвое осаждение (ALD)
Пленки, получаемые центрифугованием из растворов из кремнийорганических
соединений (НЦР – пленки)
Термическое испарение материалов в вакууме
Краткая характеристика испарителей
Индукционные испарители
Электронно-лучевое испарение
Метод ионного распыления
Катодное распыление
Магнетронное распыление
Лазерно-плазменное распыление
Вакуумное оборудование для формирования пленок
Установки лазерного распыления
Процессы в фоторезистах
Фотошаблоны
Методы литографии
Методы повышения качества формирования изображения
Метод самосовмещения
Основы диффузионной технологии
Легирующие примеси и источники диффузии
Технология проведения процессов диффузии
Контроль параметров диффузионных слоев
Ионная имплантация
Геттерирование
Эффекты, используемые в технологии СБИС
Дефекты ионного легирования и способы их устранения
Отжиг легированных структур
Диффузия
Одномерное уравнение Фика
Постоянные коэффициенты диффузии
Механизмы диффузии в твердом теле
Диффузия из бесконечного источника
Диффузия из ограниченного источника
Концентрационно-зависимые коэффициенты диффузии
Атомные механизмы диффузии
Факторы, влияющие на процессы диффузии
Способы контроля процессов диффузии
Типы интегральных микросхем
Корпуса ИМС и их конструкции
Требования к конструкции корпусов
Металлокерамические корпуса
Металлостеклянные корпуса
Пластмассовые корпуса
Корпуса чашечного типа
Разделение пластин на кристаллы
Монтаж кристаллов в корпусах эвтектическими припоями и клеями
Монтаж кристаллов в корпусах легкоплавкими припоями
Автоматизированный монтаж кристаллов в корпусах вибрационной пайкой
Контроль качества сборочных операций
Проволочный микромонтаж изделий интегральной электроники
Процессы термокомпрессионной микросварки
Ультразвуковая и термозвуковая микросварка
Автоматическое оборудование и инструмент
Монтаж жесткими объемными выводами
Монтаж кристаллов на плате
Герметизация корпусов сваркой
Герметизация корпусов пайкой
Герметизация пластмассами
Бескорпусная герметизация
Контроль герметичности
Основные причины снижения влагоустойчивости приборов
Качество и надежность приборов электронной техники
Конструктивно–технологические особенности ИС, влияющие на их надежность
Статистические методы управления качеством в производстве интегральных
микросхем
Система контроля технологического процесса
Скачать с startfiles.org
Скачать с file-space.org
Скачать с depositfiles.com
Скачать с turbobit.net
Скачать с borncash.org
| Рейтинг: | 4.8 баллов / 2537 оценок |
| Формат: | Книга |
| Уже скачали: | 12812 раз |
Похожие Книги
Нам показалось, что Книги ниже Вас заинтересуют не меньше. Эти издания Вы так же можете скачивать и читать совершенно бесплатно на сайте!
-
База элементов для художественной ковки (Часть 1) .cdr 16Мб
Автор: КоллективНазвание: База элементов для художественной ковки (Часть 1)Издательство: Год: 2008Формат: .cdrРазмер: 16 MbДля сайта: www.bankknig.netКаталог специальных векторных эскизов изделий и эл . . .
-
Cross Stitch Designs jpeg 48,1Мб
Название: Cross Stitch Designs Автор: Graeme RossИздательство: Greenhouse Publications Pty.LtdГод издания: 1993Язык: английскийСтраниц: 157Качество: хорошееФормат: jpegРазмер: 48,1 МбДля сайта: ww . . .
-
Loom Knitting Primer pdf 22,55Мб
Автор: Isela PhelpsНазвание: Loom Knitting Primer: A Beginner's Guide to Knitting on a Loom, with over 30 Fun Projects Издательство: St. Martin's GriffinГод: 2007Формат: PDFРазмер: 22.55 MbСтраниц: 14 . . .
-
Making Wooden Baskets on Your Scroll Saw pdf 6Мб
Автор: Nelson, John A.Название: Making Wooden Baskets on Your Scroll Saw (Выпиливаем лобзиком деревянные корзины)Издательство: Fox Chapel Publishing CompanyГод: 2004Формат: PDFРазмер: 6 МбЯзык: Англий . . .
-
Чехлы для мебели jpeg 220Мб
Название:Чехлы для мебели Автор: под редакц. Линды Нейбауэр Дата выпуска: 2007Издательство: Арт-родникСтраниц: 104Язык: русскийФормат: jpegКачество: хорошееРазмер: 220 МбДля сайта: www.bankknig.netПр . . .
-
Broderies marocaines jpg 11,55Мб
Автор: Laurence Roque, Françoise ClozelНазвание: Broderies marocainesИздательство: Le Temps Apprivoisé - LTAГод: 2001Формат: JpgРазмер: 11.55 MbСтраниц: 72Язык: французскийДля сайта: www.ban . . .
-
Jayne Netley Mayhew`s. Cross Stitch Animal Collection - Вышитые животные jpeg 68,6Мб
Название: Cross Stitch Animal CollectionАвтор: Jayne Netley Mayhew`sИздательство: David & CharlesГод издания: 2002Язык: английскийСтраниц: 111Качество: хорошееФормат: jpegРазмер: 68,6 МбВашему . . .
-
Osprey Modelling Manuals Volume 9: Modelling WWII Figures pdf в rar 17,9Мб
Название: Osprey Modelling Manuals Volume 9: Modelling WWII FiguresАвтор: Jerry ScuttsИздательство: Osprey PublishingISBN: 1841761370Год: 2000Страниц: 65Формат: PDF в RARРазмер: 17.9МБЯзык: английский . . .
-
Школа кукольного дизайна djvu 2,8Мб
Название: Школа кукольного дизайнаАвтор: Лариса ЧуркинаСерия: Уроки мастерстваИздательство: ООО "Дизайн Кора"Год издания: 2007Страниц: 24 основной книги + 8 вкладышФормат: DjVuРазмер: 2,8 МбВ этой неб . . .
-
The Ancient Art of Bonsai.By Amboru Kato Kimura pdf 9,15Мб
название : The Ancient Art of Bonsaiавтор : Kato Kimuraиздатель: Wiley Publishing, Inc., 2nd Editionгод: 2007язык : EnglishISBN: 04700428776формат: pdfстраниц: 120размер : 9,15 мбDescription : This is . . .
Вы не зарегистрированы!
Если вы хотите скачивать книги, журналы и аудиокниги бесплатно, без рекламы и без смс, оставлять комментарии и отзывы, учавствовать в различных интересных мероприятиях, получать скидки в книжных магазинах и многое другое, то Вам необходимо зарегистрироваться в нашей Электронной Библиотеке.
Отзывы читателей
Ой!
К сожалению, в нашей Бесплатной Библиотеке пока нет отзывов о Книге Технология интегральной электроники. Помогите нам и другим читателям окунуться в сюжет Книги и узнать Ваше мнение. Оставьте свой отзыв или обзор сейчас, это займет у Вас всего-лишь несколько минут.