Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Название: Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Автор: Киреев В.Ю., Столяров А.А.
Издательство: Техносфера
Страниц: 192
Формат: PDF
Размер: 4.2 Mб
Качество: Приемлемое
Язык: Русский
Год издания: 2006
ISBN: 5-94836-039-3
Проведена классификация действий и оборудования хим осаждения из газовой фазы (ХОГФ), применяемых в технологии интегральных микросхем (ИМС), и показаны направленности их становления. Приведены главные свойства составляющих микроструктур ИМС, получаемых в действиях ХОГФ, и еще научно-технические данные самих действий и применяемых реагентов.
Рассмотрены характеристики оборудования для реализации действий ХОГФ и проведен тест его вероятностей, качеств и дефектов при осаждении высокофункциональных слоев микросхем. Приведены главные электрофизические свойства осаждаемых пленок.
Для инженеров-технологов и ученых, использующих в собственной фактической работе хим осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна и еще учащимся старших курсов, аспирантам и учителям вузов.
| Рейтинг: | 4.8 баллов / 2537 оценок |
| Формат: | Книга |
| Уже скачали: | 12781 раз |
Похожие Книги
Нам показалось, что Книги ниже Вас заинтересуют не меньше. Эти издания Вы так же можете скачивать и читать совершенно бесплатно на сайте!
-
Трехмерное моделирование в системе Bryce. Версии 3D и 4
Название: Трехмерное моделирование в системе Bryce. Версии 3D и 4Автор: Ш. МортиерИздательство: ДМКГод: 2001Формат: djvuЯзык: РусскийCтраниц: 431 (в книге представлены черно-белые иллюстрации)Размер: . . .
-
Человек и дьявол. Философия науки и веры
Название: Человек и дьявол. Философия науки и верыАвтор: Мальцев Н.Издательство: АлгоритмГод: 2014Страниц: 416Язык: русскийФормат: rtf, fb2Размер: 2.1 МбМы живем в мире, где мирскую власть над человек . . .
-
Теория капитала и экономического роста
Название: Теория капитала и экономического роста Автор: Дзарасов С.С.Издательство: МГУГод: 2004Страниц: 400ISBN: 5-211-06116-0Формат: PDFРазмер: 17 МбЯзык: русскийУчебное пособие продвинутого уровня с . . .
-
Монументальная живопись Мексики
Название: Монументальная живопись МексикиАвтор: Жадова Л.А.Издательство: ИскусствоГод: 1965Страниц: 234Формат: DJVUРазмер: 109 МбЯзык: русскийМексиканская монументальная живопись нашла свое выражение . . .
-
Panzerkampfwagen III (Panzer Tracts No.3-3)
Автор: Thomas L. Jentz / Hilary L. DoyleНазвание: Panzerkampfwagen III Ausf.J, L, M, und N, development and production from 1941 to 1943Издательство: Panzer TractsСерия: Panzer Tracts No.3-3ISBN: 0981 . . .
-
Panzerkampfwagen "Panther" Ausfuehrung D (Panzer Tracts No.5-1)
Автор: Thomas L. Jentz / Hilary L. DoyleНазвание: Panzerkampfwagen "Panther" Ausfuehrung D with Versuchs-Serie Panther, Fgst.Nr.V2 (Panzer Tracts No.5-1)Издательство: Panzer TractsСерия: Panzer Tracts . . .
-
Адель. Капля королевской крови
Автор: Крылова ИринаНазвание: Адель. Капля королевской крови Издательство: СамИздат Год издания: 2014Формат: fb2Размер: 1 МбДля сайта: MirKnig.com Маленькая сирота Адель, стараниями приходского свяще . . .
-
Брюшной тиф и паратифы
Автор: Е.С.Белозеров, Н.В.ПродолобовНазвание: Брюшной тиф и паратифыИздательство: Медицина, ЛенинградГод: 1978Формат: PDFЯзык: RUSРазмер архива, Мб: 8Размер, Мб: 9Страниц: 192Формат архива: RAR, 3% на . . .
-
Физическая кристаллография
Название: Физическая кристаллография Автор: Васильев Д.М.Издательство: МеталлургияГод: 1972Страниц: 280 Формат: PDFРазмер: 10 МбЯзык: русскийИзложены основные представления о прямой и обратной простра . . .
-
Прикладные вопросы вязкости разрушения
Название: Прикладные вопросы вязкости разрушенияАвтор: Дроздовский Б.А. (Ред.)Издательство: МирГод: 1968Формат: djvuЯзык: РусскийCтраниц: 552Размер: 20 МБСамая полная в зарубежной научно-технической л . . .
Вы не зарегистрированы!
Если вы хотите скачивать книги, журналы и аудиокниги бесплатно, без рекламы и без смс, оставлять комментарии и отзывы, учавствовать в различных интересных мероприятиях, получать скидки в книжных магазинах и многое другое, то Вам необходимо зарегистрироваться в нашей Электронной Библиотеке.
Отзывы читателей
Ой!
К сожалению, в нашей Бесплатной Библиотеке пока нет отзывов о Книге Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы. Помогите нам и другим читателям окунуться в сюжет Книги и узнать Ваше мнение. Оставьте свой отзыв или обзор сейчас, это займет у Вас всего-лишь несколько минут.