Название: Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Автор: Киреев В.Ю., Столяров А.А.
Издательство: Техносфера
Страниц: 192
Формат: PDF
Размер: 4.2 Mб
Качество: Приемлемое
Язык: Русский
Год издания: 2006
ISBN: 5-94836-039-3
Проведена классификация действий и оборудования хим осаждения из газовой фазы (ХОГФ), применяемых в технологии интегральных микросхем (ИМС), и показаны направленности их становления. Приведены главные свойства составляющих микроструктур ИМС, получаемых в действиях ХОГФ, и еще научно-технические данные самих действий и применяемых реагентов.
Рассмотрены характеристики оборудования для реализации действий ХОГФ и проведен тест его вероятностей, качеств и дефектов при осаждении высокофункциональных слоев микросхем. Приведены главные электрофизические свойства осаждаемых пленок.
Для инженеров-технологов и ученых, использующих в собственной фактической работе хим осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна и еще учащимся старших курсов, аспирантам и учителям вузов.
Рейтинг: | 4.8 баллов / 2537 оценок |
Формат: | Книга |
Уже скачали: | 12788 раз |
Нам показалось, что Книги ниже Вас заинтересуют не меньше. Эти издания Вы так же можете скачивать и читать совершенно бесплатно на сайте!
Книга: Каталог монет Коканда ХVIII-ХIX вв. Автор: Ишанханов С.Х. Формат: PDF Размер: 1,8 Мб Качество: Нормальное Язык: Русский Год издания: 1976 В каталоге описаны монеты Коканда ХVIII-ХIХ вв., указан . . .
Книга: Каталог монет государства Великих Сельджуков Автор: Т. Ходжаниязов Страниц: 176 Формат: DJVU Размер: 2,45 Мб Качество: Нормальное Язык: Русский Год издания: 1979 Предлагаемый каталог представля . . .
Книга: Объем чеканки российских монет на отечественных и зарубежных монетных дворах. 1700-1917 Автор: В.В. Узденников Страниц: 170 Формат: PDF Размер: 39,4 Мб Качество: Нормальное Язык: Русский Год из . . .
Книга: Русские деньги от Петра Великого до Александра I Автор: А.И. Юхт Формат: PDF Размер: 75,3 Мб Качество: Нормальное Язык: Русский Год издания: 1994 Впервые расссматриваются реформы и изменения мо . . .
Книга: Ceny Monet Polskich 1506-1795 Автор: Z.Klimek Страниц: 338 Формат: PDF Размер: 135,7 Мб Качество: Нормальное Язык: Польский Год издания: 2001 Каталог по монетам Польши. Представлены монеты всех . . .
Книга: Константиновский рубль. Новые материалы и исследования Автор: А.С. Мельникова, В.В. Бартошевич, В.А. Калинин, Е.С. Щукина, И.Г. Спасский Формат: PDF Размер: 14 Мб Качество: Отличное Язык: Русск . . .
Книга: Monete Italiane dal '700 AD Oggi Автор: Коллектив Страниц: 787 Формат: PDF Размер: 340,6 Мб Качество: Нормальное Язык: Итальянский Год издания: 2004 В названии значится с 700 года до наших дней . . .
Книга: Как поймать окуня Автор: Д.И.Струженцов Издательство: "Рыбацкая академия" Страниц: 96 Формат: PDF Размер: 20.49 Mb Качество: Отличное Язык: Русский Жанр: рыбалка Год издания: 2001 Книга являетс . . .
Книга: Рыболовные самоделки Автор: Рафеенко.В.Д, Смехов.А.М, Зарайский.Д.А. Издательство: Эксмо, СКИФ Страниц: 320 Формат: DJVU Размер: 11 Мб Качество: Отличное Язык: Русский Год издания: 2007 Книга с . . .
Книга: Атлас-определитель рыб Автор: Николай Александрович Мягков Издательство: Просвещение Страниц: 282 Формат: DJVU Размер: 27.20 MB Качество: Отличное Язык: Русский Год издания: 1994 В определитель . . .
Если вы хотите скачивать книги, журналы и аудиокниги бесплатно, без рекламы и без смс, оставлять комментарии и отзывы, учавствовать в различных интересных мероприятиях, получать скидки в книжных магазинах и многое другое, то Вам необходимо зарегистрироваться в нашей Электронной Библиотеке.
К сожалению, в нашей Бесплатной Библиотеке пока нет отзывов о Книге Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы. Помогите нам и другим читателям окунуться в сюжет Книги и узнать Ваше мнение. Оставьте свой отзыв или обзор сейчас, это займет у Вас всего-лишь несколько минут.