Книга Металлизация ультрабольших интегральных схем
Название: Металлизация ультрабольших интегральных схем
Автор: Д.Г. Громов, А.И. Мочалов, А.Д. Сулимин, В.И. Шевяков
Страниц: 277
Формат: PDF
Размер: 10.7 Мб
Качество: Отличное
Язык: Русский
Год издания: 2012
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС.
Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.
Оглавление
Глава 1. Развитие систем металлизации кремниевых ИС. Основные проблемы
Глава 2. Выпрямляющие контакты
Глава 3. Омические контакты
Глава 4. Формирование силицидных контактных слоев
Глава 5. Пути повышения тепловой устойчивости систем металлизации. Принципы создания диффузионно-барьерных слоев
Глава 6. Диэлектрические слои многоуровневой системы металлизации
Глава 7. Особенности технологий многослойной системы металлизации с медными межсоединениями
| Рейтинг: | 4.8 баллов / 2537 оценок |
| Формат: | Книга |
| Уже скачали: | 12860 раз |
Похожие Книги
Нам показалось, что Книги ниже Вас заинтересуют не меньше. Эти издания Вы так же можете скачивать и читать совершенно бесплатно на сайте!
-
National Geographic Traveler №2 2010
Название: National Geographic Traveler Год / месяц: 2010 / апрель-май Номер: 2 Формат: pdf Размер: 79,6 Для сайта: Банк Книг National Geographic Traveler — ежемесячное печатное издание, посвященное п . . .
-
Популярная механика №5 2006
Название: Популярная механика Издательство: ООО "Фрешн Пресс" Год издания: май 2006 Страниц: 129 Формат: djvu в rar Язык: русский Размер: 8.43 Мб "Популярная механика" - журнал о том, как устроен ми . . .
-
Популярная механика №4 2006
Название: Популярная механика Издательство: ООО "Фрешн Пресс" Год издания: апрель 2006 Страниц: 137 Формат: djvu в rar Язык: русский Размер: 8.33 Мб "Популярная механика" - журнал о том, как устроен . . .
-
Юный эрудит № 5 2010
Название: Юный эрудит № 5 2010 Страниц: 36 Формат: PDF Размер: 17,85 Мб Язык: Русский Год издания: 2010 Качество: Хорошее Описание: Ежемесячный журнал «Юный эрудит» адресован детям и подросткам. В зан . . .
-
Ниндзя-II. Секреты невидимости и неуловимости
Название: Ниндзя-II. Секреты невидимости и неуловимостиАвтор: Гвоздев С.А. Издательство: Современное словоГод: 1997Формат: PDFРазмер: 27,9 МббЭта книга является логическим продолжением книги "Ниндзя . . .
-
Старицкий Дмитрий - Фебус. Дилогия (2014) Fb2
Название: Фебус Автор: Старицкий Дмитрий ISBN: 978-5-9922-1709-4, 978-5-9922-1809-1 Жанр: приключения, фантастика Издательство: Альфа-книга Год издания: 2014 Страниц: 627 Язык: русский Формат: RTF, Fb . . .
-
Windows PowerShell 2.0 (2012)(Видеокурс)
Данные видео-уроки рассказывают о Windows PowerShell 2.0, начиная с азов. Демонcтрации проходят на Windows 7 и Windows Server 2008 R2. Windows PowerShell — расширяемое средство автоматизации от Micr . . .
-
Делаем флюорокарбоновый поводок для ловли хищников своими руками (2014) Видеоурок
Информация о фильмеНаименование : Флюорокарбоновый поводoк для ловли хищника своими pукaмиГод выпуcка : 2014Стиль :Обучающее видеоО фильме:При ловлe xищных рыб я неизменно использую поводок из флюop . . .
-
Консервирование фаршированных помидор (2014) Видеоурок
Информaция о фильмeНаименoвание : Как консеpвировать фaршированные помидорыГод выпускa : 2014Жaнр :Обyчающeе видеоО фильме:Смотритe yвлекатeльный рецепт консервирoвания помидор ( томатов ) фарширова . . .
-
Windows 2008 R2 (2011)(видеокурс)
Windows 2008 R2Download / Скачать бесплатно Windows 2008 R2 (2011)(видеокурс) Если Вы хотите скачать Windows 2008 R2 (2011)(видеокурс) воспользуйтесь файлообменниками, которые расположены нижеLetit . . .
Вы не зарегистрированы!
Если вы хотите скачивать книги, журналы и аудиокниги бесплатно, без рекламы и без смс, оставлять комментарии и отзывы, учавствовать в различных интересных мероприятиях, получать скидки в книжных магазинах и многое другое, то Вам необходимо зарегистрироваться в нашей Электронной Библиотеке.
Отзывы читателей
Ой!
К сожалению, в нашей Бесплатной Библиотеке пока нет отзывов о Книге Книга Металлизация ультрабольших интегральных схем. Помогите нам и другим читателям окунуться в сюжет Книги и узнать Ваше мнение. Оставьте свой отзыв или обзор сейчас, это займет у Вас всего-лишь несколько минут.