Книга Металлизация ультрабольших интегральных схем
Название: Металлизация ультрабольших интегральных схем
Автор: Д.Г. Громов, А.И. Мочалов, А.Д. Сулимин, В.И. Шевяков
Страниц: 277
Формат: PDF
Размер: 10.7 Мб
Качество: Отличное
Язык: Русский
Год издания: 2012
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС.
Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.
Оглавление
Глава 1. Развитие систем металлизации кремниевых ИС. Основные проблемы
Глава 2. Выпрямляющие контакты
Глава 3. Омические контакты
Глава 4. Формирование силицидных контактных слоев
Глава 5. Пути повышения тепловой устойчивости систем металлизации. Принципы создания диффузионно-барьерных слоев
Глава 6. Диэлектрические слои многоуровневой системы металлизации
Глава 7. Особенности технологий многослойной системы металлизации с медными межсоединениями
| Рейтинг: | 4.8 баллов / 2537 оценок |
| Формат: | Книга |
| Уже скачали: | 12856 раз |
Похожие Книги
Нам показалось, что Книги ниже Вас заинтересуют не меньше. Эти издания Вы так же можете скачивать и читать совершенно бесплатно на сайте!
-
Конструкторско-технологическое проектирование электронной аппаратуры pdf/djvu
Автор: Общ. ред. В.А.ШахновНазвание: Конструкторско - технологическое проектирование электронной аппаратурыИздательство: МГТУ им. Н. Э. БауманаГод: 2002Формат: pdf/djvuРазмер: 35/21,2 МбИзложены общие . . .
-
Каталог измерительных приборов Fluke 2009 [/b] pdf
[b]Название:[/b] Каталог измерительных приборов Fluke 2009[b]Автор:[/b] коллектив[b]Издательство:[/b] Fluke[b]Год:[/b] 2009[b]Страниц:[/b] 116[b]Формат:[/b] PDF [b]Размер:[/b] 12 Мб[b]Язык:[/b] русски . . .
-
Паяльники и припои. Подборка публикаций rtf 6,5Мб
Название: Паяльники и припои. Подборка публикаций Автор: не указанСтраниц: 41Формат: RTF Размер: 6.5 МбЯзык: русскийПаяльники и припои По жизни с паяльником Паяльник без спирали Паяльник-эконом Паял . . .
-
Отечественные аналоги зарубежных микросхем для бытовой радиоаппаратуры: Справочник djvu 1,4Мб
Название: Отечественные аналоги зарубежных микросхем для бытовой радиоаппаратуры: СправочникАвтор: Пирогов Е.В.Издательство: БИАРГод: 1992Страниц: 48ISBN: 5-88565-001-2Формат: DJVU Размер: 1.4 MбЯз . . .
-
Начальная школа построения импульсных DC/DC-преобразователей pdf 2,7Мб
Название: Начальная школа построения импульсных DC/DC-преобразователейАвтор: Гончаров А.Год: 2002-2003Страниц: 23Формат: PDF Размер: 2.7 MбЯзык: русский Статьи из журнала "Электронные компоненты" 2002 . . .
-
Моделист конструктор СП №1/2007. Взлёт по вертикали djvu 2,34Мб
Название: Моделист конструктор СП №1/2007. Взлёт по вертикалиАвтор: Околелов Н.Н.Издательство: Моделист-КонструкторГод: Сп1/2007Страниц: 68Формат: djvu Размер: 2.34 МбКачество: ОтличноеСерия или Выпус . . .
-
Левша №2 2007г. 1,4Мб
Год издания: 2007Страниц: 24Язык: русскийРазмер: 1,4 Мб [DJVU]Ежемесячное приложение к журналу "Юный техник"Содержание:Музей на столе1 Один из лучшихПолигон6 Вглядись в глубины космосаИгротека11 Упрям . . .
-
Юный Техник 1956 № 01, № 02, № 03 djvu 12Мб
Формат: DJVUРазмер:12 Мбut01-03_56.part1.rarut01-03_56.part2.rar . . .
-
Юный техник №4, 2006 год pdf 14Мб
Страниц: 83Размер: 14мбФормат: pdfdepositfiles.comletitbit.netFileBox . . .
-
Юный Техник №1, 2006 pdf 14Мб
Мастера на все руки и... лапыИНФОРМАЦИЯ Где искать драгоценности?«Книга жизни» требует продолжения«Давайте жить дружно!»Атака на константу ... И «вечный двигатель» возможен? У СОРОКИ НА ХВОСТЕ Автомоб . . .
![Книга Каталог измерительных приборов Fluke 2009 [/b] pdf](http://img-fotki.yandex.ru/get/15524/303349754.53e/0_14f14b_4acdab9d_orig "Книга Каталог измерительных приборов Fluke 2009 [/b] pdf")
Вы не зарегистрированы!
Если вы хотите скачивать книги, журналы и аудиокниги бесплатно, без рекламы и без смс, оставлять комментарии и отзывы, учавствовать в различных интересных мероприятиях, получать скидки в книжных магазинах и многое другое, то Вам необходимо зарегистрироваться в нашей Электронной Библиотеке.
Отзывы читателей
Ой!
К сожалению, в нашей Бесплатной Библиотеке пока нет отзывов о Книге Книга Металлизация ультрабольших интегральных схем. Помогите нам и другим читателям окунуться в сюжет Книги и узнать Ваше мнение. Оставьте свой отзыв или обзор сейчас, это займет у Вас всего-лишь несколько минут.