Handbook for Cleaning for Semiconductor Manufacturing: Fundamentals and Applications
Автор: Karen A. Reinhardt, Richard F. Reidy
Название: Handbook for Cleaning for Semiconductor Manufacturing: Fundamentals and Applications
Издательство: Wiley-Scrivener; 1 edition
Год: 2011
Формат: PDF
Размер: 31.41 MB
Язык: Английский
This comprehensive volume provides an in-depth discussion of the fundamentals of cleaning and surface conditioning of semiconductor applications such as high-k/metal gate cleaning, copper/low-k cleaning, high dose implant stripping, and silicon and SiGe passivation. The theory and fundamental physics associated with wet etching and wet cleaning is reviewed, plus the surface and colloidal aspects of wet processing. Formulation development practices and methodology are presented along with the applications for preventing copper corrosion, cleaning aluminum lines, and other sensitive layers. This is a must-have reference for any engineer or manager associated with using or supplying cleaning and contamination free technologies for semiconductor manufacturing.
dfiles.ru
| Рейтинг: | 4.8 баллов / 2537 оценок |
| Формат: | Книга |
| Уже скачали: | 12797 раз |
Похожие Книги
Нам показалось, что Книги ниже Вас заинтересуют не меньше. Эти издания Вы так же можете скачивать и читать совершенно бесплатно на сайте!
-
Повелитель мух.
Название: Повелитель мух Автор: Уильям Голдинг Издательство: АСТ, Астрель, АСТ Москва ISBN: 978-5-17-056129-2, 978-5-271-22683-0 Год издания: 2009 Язык: Русский Формат: rtf Качество: отличное Размер . . .
-
Если бы я был вампиром.
Название: Если бы я был вампиром Автор: Алекс Кош Издательство: Армада, Альфа-книга ISBN: 978-5-9922-0289-2 Год издания: 2008 г. Страниц: 480 стр. Язык: Русский Формат: fb2 Качество: отличное Размер: . . .
-
Слепые поводыри. Миссионеры. Разбойничья злая луна.
Название: Слепые поводыри. Миссионеры. Разбойничья злая луна Автор: Евгений Лукин Издательство: АСТ, ВЗОИ ISBN: 5-17-023023-0, 5-9602-0329-4 Год издания: 2004 Страниц: 672 Язык: Русский Формат: txt . . .
-
Великая игра.
Название: Великая игра Автор: Наталия Некрасова Издательство: Эксмо ISBN: 5-699-09811-9 Год издания: 2005 Страниц: 672 Язык: Русский Формат: fb2 Качество: отличное Размер: 1.37 МбОписание: "...Девят . . .
-
Черная Книга Арды: Исповедь Стража.
Название: Черная Книга Арды: Исповедь Стража Автор: Наталия Некрасова Серия или выпуск: Черная Книга Арды - 2 Издательство: Эксмо-Пресс ISBN: 5-04-004203-5 Год издания: 2005 Страниц: 672 Язык: Русск . . .
-
Черная Книга Арды.
Название: Черная Книга Арды Автор: Наталья Васильева Серия или выпуск: Черная Книга Арды - 1 Издательство: Эксмо-Пресс ISBN: 5-04-004204-3 Год издания: 2005 Страниц: 560 Язык: Русский Формат: fb2 Ка . . .
-
Серебряные пули с урановым сердечником.
Название: Серебряные пули с урановым сердечником Автор: Андрей Уланов Издательство: Эксмо ISBN: 5-699-06812-0 Год издания: 2004 Страниц: 416 Язык: Русский Формат: fb2 Размер: 1.36 МбОписание: Многол . . .
-
Уровень атаки.
Название: Уровень атаки Автор: Игорь Огай Серия или выпуск: Уровень атаки - 1 Издательство: Эксмо ISBN: 978-5-699-20728-2 Год издания: 2007 Страниц: 480 Язык: Русский Формат: fb2 Качество: отличное Ра . . .
-
Возрождение.
Название: Возрождение Автор: Дмитрий Лазарев Серия или выпуск: Пандемониум - 3 Издательство: Альфа-книга, Армада ISBN: 978-5-9922-0048-5 Год издания: 2008 Страниц: 512 Язык: Русский Формат: fb2 Каче . . .
-
Подшипники скольжения с автокомпенсацией износа.
Название: Подшипники скольжения с автокомпенсацией износа Автор: Д. Т. Авдеев Язык: Русский Формат: djvu Размер: 1.55 Мб Описание: Обобщен и систематизирован материал, имеющийся в научно-технической . . .
Вы не зарегистрированы!
Если вы хотите скачивать книги, журналы и аудиокниги бесплатно, без рекламы и без смс, оставлять комментарии и отзывы, учавствовать в различных интересных мероприятиях, получать скидки в книжных магазинах и многое другое, то Вам необходимо зарегистрироваться в нашей Электронной Библиотеке.
Отзывы читателей
Ой!
К сожалению, в нашей Бесплатной Библиотеке пока нет отзывов о Книге Handbook for Cleaning for Semiconductor Manufacturing: Fundamentals and Applications. Помогите нам и другим читателям окунуться в сюжет Книги и узнать Ваше мнение. Оставьте свой отзыв или обзор сейчас, это займет у Вас всего-лишь несколько минут.