Handbook for Cleaning for Semiconductor Manufacturing: Fundamentals and Applications
Автор: Karen A. Reinhardt, Richard F. Reidy
Название: Handbook for Cleaning for Semiconductor Manufacturing: Fundamentals and Applications
Издательство: Wiley-Scrivener; 1 edition
Год: 2011
Формат: PDF
Размер: 31.41 MB
Язык: Английский
This comprehensive volume provides an in-depth discussion of the fundamentals of cleaning and surface conditioning of semiconductor applications such as high-k/metal gate cleaning, copper/low-k cleaning, high dose implant stripping, and silicon and SiGe passivation. The theory and fundamental physics associated with wet etching and wet cleaning is reviewed, plus the surface and colloidal aspects of wet processing. Formulation development practices and methodology are presented along with the applications for preventing copper corrosion, cleaning aluminum lines, and other sensitive layers. This is a must-have reference for any engineer or manager associated with using or supplying cleaning and contamination free technologies for semiconductor manufacturing.
dfiles.ru
| Рейтинг: | 4.8 баллов / 2537 оценок |
| Формат: | Книга |
| Уже скачали: | 12799 раз |
Похожие Книги
Нам показалось, что Книги ниже Вас заинтересуют не меньше. Эти издания Вы так же можете скачивать и читать совершенно бесплатно на сайте!
-
Журнал Creative Woodworks & Crafts №9 2005
Название: Creative Woodworks & Crafts Издательство: All American Crafts, Inc Номер: 9 Месяц / Год: September / 2005 Страниц: 120 Формат: -PDF Размер файла:&nb . . .
-
Журнал Creative Woodworks & Crafts №8 2005
Название: Creative Woodworks & Crafts Издательство: All American Crafts, Inc Номер: 8 Месяц / Год: August / 2005 Страниц: 120 Формат: -PDF Размер файла: . . .
-
Журнал Creative Woodworks & Crafts №1 2005
Название: Creative Woodworks & Crafts Издательство: All American Crafts, Inc Номер: 1 Месяц / Год: January / 2005 Страниц: 120 Формат: -PDF Размер файла:  . . .
-
Журнал Creative Woodworks & Crafts №6 2005
Название: Creative Woodworks & Crafts Издательство: All American Crafts, Inc Номер: 6 Месяц / Год: June / 2005 Страниц: 120 Формат: -PDF Размер файла: - . . .
-
Журнал Creative Woodworks & Crafts №4 2005
Название: Creative Woodworks & Crafts Издательство: All American Crafts, Inc Номер: 4 Месяц / Год: April / 2005 Страниц: 120 Формат: -PDF Размер файла: . . .
-
Журнал Creative Woodworks & Crafts №3 2005
Название: Creative Woodworks & Crafts Издательство: All American Crafts, Inc Номер: 3 Месяц / Год: March / 2005 Страниц: 120 Формат: -PDF Размер файла: . . .
-
Журнал Concept for Living №3 (март 2011) / UK
Название: Concept for Living Издательство: Jazz Publishing Номер: 3 Месяц / Год: 03 / 2011 Страниц: 133 Формат: PDF Размер файла: 46.5 Мб Язык: а . . .
-
Руслан Мельников. Хэдхантер. Книга 2. Собиратели голов
Время легкой охоты на рабов закончилось. Объединившиеся дикие кланы дают отпор хэдхантерским отрядам. Более того, дикари начинают свою охоту, самой желанной добычей в которой становится голова заклято . . .
-
Лечение травами. 365 ответов и вопросов
Название: Лечение травами. 365 ответов и вопросовИздательство: АСТ, СоваГод: 2010Формат: djvuРазмер: 3,9 MBЛекарственные растения могут оказать нам неоценимую помощь. В природной "аптеке" можно найти . . .
-
Маникюр, педикюр. Советы стилиста
Автор:Сербина Я.Название: Маникюр, педикюр. Советы стилиста. Издательство: Клуб семейного досугаГод: 2007Формат: DjVuРазмер: 26.52 MbПрочитав эту книгу, вы:- познакомитесь с различными видами маникю . . .
Вы не зарегистрированы!
Если вы хотите скачивать книги, журналы и аудиокниги бесплатно, без рекламы и без смс, оставлять комментарии и отзывы, учавствовать в различных интересных мероприятиях, получать скидки в книжных магазинах и многое другое, то Вам необходимо зарегистрироваться в нашей Электронной Библиотеке.
Отзывы читателей
Ой!
К сожалению, в нашей Бесплатной Библиотеке пока нет отзывов о Книге Handbook for Cleaning for Semiconductor Manufacturing: Fundamentals and Applications. Помогите нам и другим читателям окунуться в сюжет Книги и узнать Ваше мнение. Оставьте свой отзыв или обзор сейчас, это займет у Вас всего-лишь несколько минут.